[实用新型]太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池链式湿法刻蚀设备技术领域，特别是一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板。

背景技术

现有太阳能电池链式湿法刻蚀设备如RENA Inoxside机台的刻蚀槽盖板的形状设计均为平面形。在生产过程中，由于酸气的挥发，较长时间后便会在盖板处聚集众多液滴。当液体聚集到一定量后，由于自身重力，将低落到正常生产时经过的硅片扩散面上，从而造成扩散面异常，形成不良片。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：避免刻蚀槽盖板上的液滴滴落在硅片扩散面上，从而减少出现液滴片的概率，降低不良片发生几率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板，刻蚀槽盖板为弧形，盖板中部高，四周低。

刻蚀槽盖板的一端与刻蚀槽通过铰链连接，在铰接处的相对侧上设置把手。

本实用新型的有益效果是：通过改变刻蚀槽盖板的形状，将平面形盖板设计成弧面形，使得酸气聚集成液滴后可沿盖板流至机台边缘而回到刻蚀槽中，目前由液滴造成的不良片比例大约为0.1％左右。本设计可减少刻蚀槽液滴滴落到硅片扩散面上的几率，从而降低由液滴滴落造成的不良片的比例。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；

图1是本实用新型的刻蚀槽盖板的结构示意图；

其中：1.刻蚀槽盖板，2.刻蚀槽，3.把手，4.酸气，5.液滴。

具体实施方式

现在结合附图1对本实用新型作进一步详细的说明。该附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板，刻蚀槽盖板1为弧形，盖板中部高，四周低，酸气聚集成液滴后可沿盖板流至机台边缘而回到刻蚀槽2中。刻蚀槽盖板1的一端与刻蚀槽2通过铰链连接，在铰接处的相对侧上设置把手3。