[实用新型]一种红外桥式测温传感器

权利要求书

1.一种红外桥式测温传感器，包括衬底和由四个电阻组成的电阻器电桥，其特征在于，所述电阻器电桥包括由一个光敏电阻、两个环境参考电阻和一个焦耳参考电阻之间首尾相连构成的环状结构，所述两个环境参考电阻之间接电源地，所述光敏电阻与焦耳参考电阻之间接供电电源，所述光敏电阻与一个环境参考电阻之间为第一输出端，所述焦耳参考电阻与另一个环境参考电阻之间为第二输出端，所述衬底在安装光敏电阻和焦耳参考电阻的位置设有凹槽。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述构成电阻器电桥的四个电阻的阻值相同。

3.根据权利要求1至2任一项所述的传感器，其特征在于，所述构成电阻器电桥的四个电阻由测温材料构成，所述测温材料为氧化钒。

4.根据权利要求1至3任一项所述的传感器，其特征在于，所述光敏电阻外层镀有黑金红外吸收层，所述焦耳参考电阻外层镀有金属反射层。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述光敏电阻和焦耳参考电阻分别悬浮在两个凹槽上面，并且两端跨接在凹槽两端。

6.根据权利要求1或5所述的传感器，其特征在于，所述凹槽的深度为100微米至500微米。