[实用新型]热式质量流量传感器封装件有效
| 申请号： | 201020550686.9 | 申请日： | 2010-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN201787980U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 刘海东;肖素艳;蒋乐跃 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/78 | 分类号： | G01F1/78;B81B7/00 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 质量 流量传感器 封装 | ||
【权利要求书】：
1.一种热式质量流量传感器封装件，其特征在于：其包括流量传感器芯片和与流量传感器芯片键合在一起的盖帽，所述流量传感器芯片上设有传感器敏感区，所述传感器敏感区设有微热源和温度传感器，所述盖帽上设置流体流道，所述传感器敏感区位于盖帽的流体流道内。
2.根据权利要求1所述的热式质量流量传感器封装件，其特征在于：所述流体流道的宽度等于或大于传感器敏感区的宽度，且小于流量传感器芯片的宽度。
3.根据权利要求1所述的热式质量流量传感器封装件，其特征在于：所述流体流道的高度小于盖帽的高度。
4.根据权利要求1所述的热式质量流量传感器封装件，其特征在于：所述流体流道的尺寸按照所述流量传感器的测量量程加以确定。
5.根据权利要求1所述的热式质量流量传感器封装件，其特征在于：所述流体流道包括入口、出口、以及位于入口和出口之间的通道，所述通道在盖帽的三个壁上形成开口，其中两个开口分别为所述入口和出口，第三个开口位于盖帽与流量传感器芯片键合在一起的壁上。
6.根据权利要求1所述的热式质量流量传感器封装件，其特征在于：所述流体流道的形状为长方体。
7.根据权利要求1所述的热式质量流量传感器封装件，其特征在于：所述盖帽的材料为刚性材料。
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