[实用新型]一种用于薄膜太阳能电池激光刻线除尘装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种除尘装置，特别涉及一种薄膜太阳能电池激光刻线除尘装置。

背景技术

薄膜太阳能电池制备过程中激光刻划工艺产生的粉尘会带来三方面不良影响：一是部分粉尘残留在激光刻线的刻线槽内，导致短路的发生；二是粉尘会散步到空气中，影响净化车间的洁净度；三是这些粉尘是导电的，极易粘附在电路板上对各电子元件造成损坏。

目前，薄膜太阳能电池领域使用的激光刻划机主要有两种工作方式，一种是激光束透过玻璃对膜层进行刻划，刻划中产生的粉尘、颗粒沿激光束出射方向高速喷出，具有一定的运动方向，采用这种刻划方式的除尘装置与激光刻划机分别位于薄膜太阳能电池两侧，设计较为容易；另一种是由于特殊工艺需要，激光束需直接作用到膜层上，激光刻线中产生的粉尘只能沿激光束入射方向返回，且由于激光束的冲击，粉尘具有多个发散的运动方向，普通的除尘系统难以达到较好的除尘效果。申请号200810218755.3的中国专利公开了一种激光刻线除尘装置，是针对激光束透过玻璃对膜层进行加工的激光刻线机设计的，该装置包括吸尘装置和抽风装置两部分，其优点是结构简单、易于实现，但该装置不适用于激光束直接作用到电池板膜层的刻划方式，不能解决激光加工中产生的粉尘、颗粒沿激光入射方向返回后对激光束的遮挡和聚焦镜片的污染。

发明内容

本实用新型的任务是针对现有除尘装置无法解决粉尘、颗粒沿激光入射方向返回后对激光束造成遮挡和污染聚焦镜片的问题，提供一种适用于激光束直接作用电池板膜面的激光刻线除尘装置，具有效果好、成本低、设计简单、易于产业化的优点。

为实现以上任务，本实用新型采用的技术方案是：一种用于薄膜太阳能电池激光刻线除尘装置，包括吸尘机构、抽风机构以及连接所述吸尘机构与所述抽风机构的连接机构，所述吸尘机构固定在激光聚焦镜头的固定板上，其特征在于：所述吸尘机构包括环绕激光束的空心套筒，所述空心套筒外侧设有与所述连接构件相通的孔，由所述连接机构将吸尘机构连接至所述抽风机构。

所述空心套筒包括内管、外管、片状大圆环以及片状小圆环，所述内管和外管通过所述大圆环和所述小圆环共轴焊接，所述大圆环位于顶部，所述小圆环位于外管和内管之间的中上部。

所述与连接构件相通的孔的位置不高于所述小圆环。

所述抽风机构包括抽风机和滤尘箱。

所述连接机构包括连接固定管、波纹管和拖链，所述连接固定管的一端焊接在所述空心套筒外侧，另一端和所述波纹管相连，所述波纹管置于所述拖链内。

所述抽风机是2KW～3KW的涡轮风机。

所述吸尘机构距离薄膜太阳能电池板1～2cm。

所述连接固定管是不锈钢材质

本实用新型的有益效果是：吸尘机构采用空心套筒结构有效防止粉尘对激光束的污染，克服了传统除尘系统针对激光光路保护需要额外增加吹风装置的问题。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图及实施例图

图2是本方案吸尘部分的剖面图

图3是图2中A-A剖视示意图

图1-3中，抽风机1，滤尘箱2，固定板3，激光聚焦镜头4，拖链5，波纹管6，吸尘机构7，激光束8，薄膜太阳能电池板9，粉尘10，大圆环7-1，小圆环7-2，外管7-3，内管7-4，连接固定管7-5，固定片7-6。

以下结合附图对本实用新型进一步说明。