[实用新型]单晶炉中三瓣埚

说明书

所属技术领域：

本实用新型涉及一种用于直拉硅单晶炉的加热设备，特别是涉及一种单晶炉中三瓣埚。

背景技术：

硅硅单晶的大部分用切克劳斯基(Czochralski)法制造。在这种方法中，多晶硅被装进石英坩埚，加热熔化，然后，将熔硅略作降温，给予一定的过冷度，把一只特定晶向的硅单晶体(籽晶)与熔体硅接触，通过调整熔体的温度和籽晶向上提升的速度，使籽晶缩颈排除位错后长大至目标直径时，提高提升速度，使单晶体恒直径生长。在生长过程的尾期，此时埚内的硅熔体尚未完全消失，通过增加晶体的提升速度和调节向埚的供热量将晶体直径逐渐减小而形成一个尾形锥体，当锥体的尖足足够小时，晶体就会与熔体脱离，从而完成晶体的生长过程。直径硅单晶在制造时大致分为这么几个阶段：装多晶料、抽空、多晶硅熔化、晶和肩的生长、等直径生长、尾部晶体生长、晶体冷却。由于在高温过程中，承载设备三瓣埚会因为氧化等作用而发生损耗，特别埚瓣与埚瓣之间的间隙将变大，造成生产上的不便。

发明内容；

本实用新型将旧三瓣埚每瓣埚的两端上边口各打一个45°的斜角，用钼丝固定两瓣埚。

本实用新型的设计，能够解决由于三瓣埚所用次数过多后造成的埚瓣与埚瓣之间缝隙过大的问题。三瓣埚所用次数过多后埚瓣与埚瓣之间缝隙会越来越大，由于石英坩埚在高温下会变软，会根据石墨坩埚的形状而变化。如果三瓣埚之间的缝隙过大，石英坩埚会膨胀开，影响石英坩埚的寿命和埚位的稳定性。如果缝隙再大点的话，会导致三瓣埚与加热器摩擦，使得液面晃动；更严重的会导致打火，损害加热器。

本实用新型将旧三瓣埚每瓣埚的两端上边口各打一个45°的斜角，用钼丝固定两瓣埚，这样两两固定后，三瓣埚会和新的一样严丝合缝。这样石英坩埚高温软化后的形状会更固定，对熔体埚位的影响更低，也会降低与加热器摩擦的可能性。

本实用新型的运用，对于延长三瓣埚的使用次数，完善石英坩埚使用后形状控制和熔体埚位控制，减少由于三瓣埚的原因导致与加热器的摩擦可能性起到了有效地作用。

附图说明：

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

附图1本实用新型结构示意图的主剖视图；

附图2、三瓣埚俯视图；

附图3、单瓣埚侧视图。

附图中1、2、3是三瓣埚，4是钼丝，5是石英坩埚，6是熔体，7是加热器。

具体实施方式：

本主要包括三瓣埚(1、2、3)、钼丝(4)、石英坩埚(5)、熔体(6)、加热器7将旧三瓣埚每瓣埚(1、2、3)的两端(1-1、1-2、2-1、2-2、3-1、3-2)上边口各打一个45°的斜角，用钼(丝)4固定两瓣埚，这样两两固定后，三瓣埚会和新的一样严丝合缝。这样石英坩埚(5)高温软化后的形状会更固定，熔体(6)埚位稳定，也降低与加热器(7)摩擦的可能性。