[实用新型]一种硅太阳能电池片用的石墨框有效
申请号: | 201020558261.2 | 申请日: | 2010-10-11 |
公开(公告)号: | CN201834967U | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 郭爱军;张兴云 | 申请(专利权)人: | 晶澳太阳能有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L31/18 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 李海波 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 石墨 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅太阳能电池制造工段PECVD硅片镀膜的附属夹具,用来固定硅太阳能电池片半成品到PECVD中进行硅太阳能电池片氮化硅镀膜,具体是指一种硅太阳能电池片用的石墨框。
背景技术
目前国内所有太阳能电池制造厂家的PECVD硅片镀膜的附属夹具石墨框一般是由碳碳面板、石墨条和碳纤维条几个部件组成。
如图1、图2所示的一种硅太阳能电池片用的石墨框,它包括碳碳面板1、石墨条2和碳纤维条3,石墨条2和碳纤维条3分别以层叠方式纵向安装在碳碳面板1左右两端的下表面上,由上至下依次为碳碳面板1、石墨条2和碳纤维条3,用紧固螺钉5固定,碳碳面板1上均匀镂空开设有多个用于容置并固定硅太阳能电池片半成品的正方形孔100,相邻的孔之间的间距均相同,碳碳面板1具有前边框13、后边框14、左边框11和右边框12,其中在前边框13和后边框14两端的边角位置处均开设有一个感应槽1a,感应器通过感应槽1a进行感应,碳碳面板1为正方形板,前后两边的尺寸等于左右两边的尺寸,前边框和后边框之间开设有五个正方形孔100,左边框和右边框之间开设有五个正方形孔100,共计开设二十五个正方形孔100。
但是现有的石墨框的弊端是在碳碳面板1的前边框13、后边框14上预留的空间过多,造成在碳碳面板上开设的正方形孔只有二十五个,影响PECVD的产量。并且现有的石墨框整体强度不够,影响石墨框的整体使用效果以及石墨框的使用寿命。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种能提高硅太阳能电池片镀膜产量并且具有良好强度的石墨框。
本实用新型的上述目的通过如下技术方案来实现的:一种硅太阳能电池片用的石墨框,它包括碳碳面板、石墨条和碳纤维条,所述的石墨条和碳纤维条分别以层叠方式纵向安装在碳碳面板左右两端的下表面上,由上至下依次为碳碳面板、石墨条和碳纤维条,所述碳碳面板上均匀镂空开设有多个用于容置并固定硅太阳能电池片半成品的正方形孔,相邻的孔之间的间距均相同,所述的碳碳面板具有前边框、后边框、左边框和右边框,其中在前边框和后边框两端的边角位置处均开设有一个感应槽,其特征在于:所述的碳碳面板为长方形板,前后两边的尺寸大于左右两边的尺寸,前边框和后边框之间开设有六个正方形孔,左边框和右边框之间开设有五个正方形孔,所述的前边框和后边框的中部均具有向外凸出的凸框。
本实用新型可以做如下改进:所述碳碳面板的上表面上横向安装有具有增加石墨框整体强度的加强筋,所述加强筋和石墨条相垂直。
本实用新型可以做如下改进:所述的加强筋为两根,加强筋的材质为碳纤维。加强筋也可以为三根或四根或五根等。
与现有技术相比,本实用新型主要是克服PECVD用原有石墨框在硅片镀膜时产量低的问题,石墨框有三十个可以装载硅片进行镀膜的正方形孔,比原有石墨框提高了1/5的产量,同时硅太阳能电池片的氮化硅镀膜效果没有发生改变,并且增加了加强筋的石墨框可以延长石墨框的使用寿命。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明。
图1是现有技术中石墨框的爆炸图;
图2是现有技术中碳碳面板的结构示意图;
图3是本实用新型石墨框的整体结构图;
图4是本实用新型石墨框的爆炸图;
图5是本实用新型中碳碳面板的结构示意图。
具体实施方式
如图3至图5所示的一种硅太阳能电池片用的石墨框,它包括碳碳面板1、石墨条2和碳纤维条3,石墨条2和碳纤维条3分别以层叠方式纵向安装在碳碳面板1左右两端的下表面上,由上至下依次为碳碳面板1、石墨条2和碳纤维条3,用紧固螺钉5固定,碳碳面板1上均匀镂空开设有多个用于容置并固定硅太阳能电池片半成品的正方形孔100,相邻的孔之间的间距均相同,碳碳面板1具有前边框13、后边框14、左边框11和右边框12,其中在前边框13和后边框14两端的边角位置处均开设有一个感应槽1a,感应器通过感应槽1a进行感应,碳碳面板1为长方形板,前后两边的尺寸大于左右两边的尺寸,前边框13和后边框14之间开设有六个正方形孔100,左边框11和右边框12之间开设有五个正方形孔100,共计开设三十个正方形孔100,前边框13和后边框14的中部均具有向外凸出的凸框1b。
该石墨框的碳碳面板1的上表面上还横向安装有具有增加石墨框整体强度的加强筋4,加强筋4为两根,分别通过紧固螺钉5固定,加强筋4的材质为碳纤维,加强筋4和石墨条2相垂直。增加了加强筋的石墨框可以增加石墨框的整体强度及延长石墨框的使用寿命。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
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