[实用新型]防潮湿传感器支架

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种支架，尤其涉及一种防潮湿传感器支架。

背景技术

在半导体生产领域内，广泛的使用电容传感器来感知容器(比如设备中的压力真空容器PVV)内的液位变化。请参阅图1-2，图1所示为现有的防潮湿传感器支架的使用状态示意图；图2所示为现有的防潮湿传感器支架的结构示意图。从图1-2中可见，现有的湿传感器支架，用于将传感器3固定于容器2外壁，包括支架体1，所述支架体1上设有用于卡住容器2的竖直方向卡槽11，所述支架体1上还设有水平方向的传感器容置通孔(图中未示意)。也就是说，现有的方法是利用支架体1将电容传感器3固定于容器2的外部，使得电容传感器3紧贴于所述容器2的外表面，从而，通过传感器3来感知容器2内液位，从而达到连续供应的目的。

但是，由于压力真空容器的往复动作使其自身温度降低。而当压力真空容器工作在湿度较大的环境中，则非常容易产生冷凝水，沿着容器外侧壁留下的冷凝水会流到支架，进而流到支架内部的传感器，从而影响传感器对液位变化的识别，以致影响化学品供应。

因此，如何提供一种防潮湿传感器支架是本领域亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防潮湿传感器支架，可以及时清除流到支架上的冷凝水，从而有效将冷凝水和传感器隔离。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型的有益效果如下：

一种防潮湿传感器支架，用于将传感器固定于容器外壁，包括支架体，所述支架体上设有用于卡住容器的竖直方向卡槽，所述支架体还设有水平方向的传感器容置通孔，所述支架体的顶板是多孔板，所述防潮湿传感器支架还包括导流管和负压源，所述多孔板的底端通过导流管与负压源连通。

所述支架体整体呈长方体。

所述竖直方向卡槽的两端贯穿所述支架体的两底面并在一侧面上形成开口，所述竖直方向卡槽与所述容器的外周缘相匹配，所述水平方向的传感器容置通孔的一端接通所述竖直方向卡槽，另一端贯穿于所述支架体的另一侧面。

所述竖直方向卡槽包括一个弧形槽和一个梯形槽，所述弧形槽的开口端通过梯形槽延伸到所述支架体的侧面并在所述侧面形成开口，且所述梯形槽由内向外逐步扩大。

所述多孔板是塑料纤维板。

所述多孔板具有多个孔，各孔的孔径范围在0.5-1μm。

所述多孔板的孔隙率约为35-45％。

所述多孔板的厚度为0.5-2mm。

本实用新型防潮湿传感器支架，结构简单、使用方便，通过将支架体的顶板改成多孔板，通过多孔板来吸附沿容器管壁流下的冷凝水，并通过负压源经接于所述多孔板的底端的导流管将多孔板所吸附的冷凝水及时抽吸排除，从而避免冷凝水靠近传感器，从而保证传感器对容器内液位变化的正确识别，实现连续供应容器内液态化学品的目的。

附图说明

本实用新型的防潮湿传感器支架由以下的实施例及附图给出。

图1是现有的防潮湿传感器支架的使用状态示意图；

图2是现有的防潮湿传感器支架的结构示意图；

图3是本实用新型的防潮湿传感器支架的结构示意图；

图4是本实用新型的防潮湿传感器支架的支架体的结构示意图；

图5是图4的左视图；

图6是容器的结构示意图；

图7是本实用新型的防潮湿传感器支架的使用状态示意图。

图中，1-支架体、11-卡槽、12-传感器容置通孔、13-顶板、14-前侧板、15-右侧板、16-左侧板、2-容器、3-传感器、4-负压源，5-导流管。

具体实施方式

以下将对本实用新型的防潮湿传感器支架作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。