[实用新型]一种高温炉工艺腔

权利要求书

1.一种高温炉工艺腔，包括：底座和炉管；所述炉管垂直置于所述底座上；所述炉管内的顶部位置设置有气体分流板，所述气体分流板上具有多个通气通孔，气体输入管道通入至所述气体分流板和所述炉管的顶端之间，其特征在于，所述炉管的顶端之上还设置有冷却腔；所述冷却腔的一侧设置有进气口，另一侧设置有排气口；所述冷却腔的外侧还设置有进气管道和排气管道，所述进气管道的一端通过所述进气口进入所述冷却腔中，另一端位于所述冷却腔外；所述排气管道的一端通过所述排气口进入所述冷却腔中，另一端位于所述冷却腔外。

2.如权利要求1所述的高温炉工艺腔，其特征在于，所述炉管顶端位于所述冷却腔内的面上设置有多个错落分布的挡流板。

3.如权利要求1所述的高温炉工艺腔，其特征在于，所述压缩气体为压缩空气或压缩氮气。

4.如权利要求1所述的高温炉工艺腔，其特征在于，所述炉管的材质为石英。

5.如权利要求1或4所述的高温炉工艺腔，其特征在于，所述冷却腔腔壁的材质为石英。

6.如权利要求5所述的高温炉工艺腔，其特征在于，所述挡流板、所述进气管道和所述排气管道的材质为石英。

7.如权利要求1至3中任一权利要求所述的高温炉工艺腔，其特征在于，所述炉管底端外侧设置有第一突出圈体，所述底座的顶端外侧设置有第二突出圈体，所述炉管置于所述底座上时，所述第一突出圈体同所述第二突出圈体相重合；所述第一突出圈体上的两侧分别设置有平行于所述炉管方向的第一进气通孔和第一排气通孔，所述进气管道的另一端通入所述第一进气通孔中，所述排气管道的另一端通入所述第一排气通孔中；所述第二突出圈体上设置有第二进气通孔和第二排气通孔，所述第二进气通孔的一端同所述第一进气通孔相通， 另一端连接进气接口；所述第二排气通孔的一端同所述第一排气通孔相通，另一端连接排气接口。

8.如权利要求7所述的高温炉工艺腔，其特征在于，所述第一进气通孔同所述第二进气通孔相通处的四周及所述第一排气通孔同所述第二排气通孔相通处的四周均设置有密封圈。

9.如权利要求8所述的高温炉工艺腔，其特征在于，所述第二进气通孔上连接所述进气接口的一端位于所述第二突出圈体平行于所述炉管方向的侧面上，所述第二排气通孔上连接所述排气接口的一端位于所述第二突出圈体平行于所述炉管方向的侧面上。