[实用新型]除胶用清洗装置有效

专利信息
申请号: 201020565128.X 申请日: 2010-10-16
公开(公告)号: CN201859840U 公开(公告)日: 2011-06-08
发明(设计)人: 左小文;崔金忠 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种除胶用清洗装置,其特征在于,包括至少一个浸泡槽和清洗架,所述浸泡槽包括槽体和悬挂架,所述悬挂架固定于所述槽体上,所述清洗架包括连接部、支撑部与放置部,其中:

所述连接部包括矩形框架,所述矩形框架的宽度小于所述浸泡槽的宽度,所述矩形框架的长度小于所述浸泡槽的长度;

所述支撑部固定于所述连接部上方,所述支撑部包括第一挂栏和第二挂栏,所述第一挂栏、第二挂栏分别固定在所述矩形框架的两长边上,所述第一挂栏与所述第二挂栏互相对称,均设有弯折部;

所述放置部固定于所述连接部下方,包括至少两个“U”型架,所述“U”型架的两端分别固定在所述矩形框架的两短边上,所述“U”型架的中部设置有多个分隔件,所述多个分隔件互相平行。

2.如权利要求1所述除胶用清洗装置,其特征在于,所述浸泡槽为两个。

3.如权利要求1所述除胶用清洗装置,其特征在于,所述连接部、所述支撑部与所述放置部为一体成型。

4.如权利要求1至3中任意一项所述除胶用清洗装置,其特征在于,所述悬挂架包括至少两根悬挂杆和至少一个横梁,所述悬挂杆下端与所述浸泡槽侧面固定连接,所述悬挂杆的头部设置有挂钩,所述横梁两端连接所述悬挂杆上端。

5.如权利要求1至3中任意一项所述除胶用清洗装置,其特征在于,所述分隔件为隔条,所述隔条头部设有球形突起。

6.如权利要求1至3中任意一项所述除胶用清洗装置,其特征在于,所述“U”型架为两个,所述分隔件为隔栏,所述隔栏呈倒“U”型,所述隔栏的两端分别固定在两“U”型架中部,所述隔栏中部与所述矩形框架的长边平行。

7.如权利要求1至3中任意一项所述除胶用清洗装置,其特征在于,所述连接部还包括至少一根横条,所述横条两端分别固定在所述矩形框架的两短边上。

8.如权利要求1至3中任意一项所述除胶用清洗装置,其特征在于,所述浸泡槽和所述清洗架的材料为坚硬、耐腐蚀材料。

9.如权利要求8所述除胶用清洗装置,其特征在于,所述浸泡槽和所述清洗架的材料为不锈钢。

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