[实用新型]一体化光学臭氧产量检测装置

权利要求书

1.一种一体化光学臭氧产量检测装置，包括有设置在光学防震平台上的：光源(1)；第一分束器(2)，将光源(1)分成两束光，其中一束光射在参考臂上，另一束光通过第一反射镜(5)反射在样品臂上；第二反射镜(4)，接收参考臂上的光；第二分束器(7)，分别接收第二反射镜(4)的反射光和样品臂上的光；电荷耦合器件(8)，设置在第二分束器(7)的输出光路上，用于采集第二分束器(7)的干涉条纹，并将采集到的干涉条纹图样转换为可处理的数字信号；数据处理系统(9)连接电荷耦合器件(8)的输出端，用于处理接收到的数字信号；其特征在于，在所述的第一分束器(2)与第二反射镜(4)之间的参考臂的光路上设置有固定体积的参比气室(3)，所述的参比气室(3)的内部抽成真空或充满折射率已知的气体或液体；在所述的第一反射镜(5)和第二分束器(7)之间的样品臂的光路上设置有与臭氧发生器相通的样品气室(6)，所述的样品气室(6)的体积随气体流速发生改变。

2.根据权利要求1所述的一体化光学臭氧产量检测装置，其特征在于，所述的光源(1)采用紫外激光器，所述的紫外激光器采用250nm～270nm波长的连续或脉冲高相干性紫外激光器。

3.根据权利要求1所述的一体化光学臭氧产量检测装置，其特征在于，所述的第一分束器(2)和第二分束器(7)采用50/50的分光比例。

4.根据权利要求1所述的一体化光学臭氧产量检测装置，其特征在于，所述的样品气室(6)为抗臭氧材料制成的，其横截面呈矩形，所述矩形的长轴方向的前、后气室壁上对应设置有进气口(10)和出气口(11)，样品气室(6)的长轴与入射紫外光光轴垂直；所述样品气室(6)沿光轴方向的两气室壁上设置有透射紫外光的入射口(12)和与之对应的出射口(13)，所述的入射口(12)上设置有光学玻璃，所述的出射口(13)上设置有沿光轴方向移动的窗体(14)，该窗体(14)上设置有光学玻璃。

5.如权利要求4所述的一体化光学臭氧产量检测装置，其特征在于：所述的窗体(14)与出射口(13)处连接的部分设置有弹性装置，所述的弹性装置与出射口(13)之间呈密封连接。

6.根据权利要求1所述的一体化光学臭氧产量检测装置，其特征在于，该一体化光学臭氧产量检测装置整体置于恒温箱内，或在构成该一体化光学臭氧产量检测装置的每一部件上均设置温控装置以保持温度恒定。

7.根据权利要求1所述的一体化光学臭氧产量检测装置，其特征在于，构成该一体化光学臭氧产量检测装置的每一部件上均镀有保证良好的光学透射特性，将光学信号损失减至最低的紫外增透薄膜。