[实用新型]气液分离装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示装置的制造设备，特别涉及一种气液分离装置。

背景技术

在液晶显示装置的制作过程中，需要在玻璃基板上涂布光刻胶。通常采用旋转涂胶(Spin-coater)方法进行涂覆，通过高速旋转可以使得预涂覆在玻璃基板上的光刻胶达到所需要的均一度。

图1为现有技术光刻胶涂覆设备的结构示意图，如图1所示，该涂覆设备中的旋转单元11高速旋转以使得涂覆的光刻胶达到需要的平整度，在旋转过程中难以避免会甩出部分光刻胶，该部分甩出的光刻胶会附着在涂覆设备的外壁上并粘在上边，需要用能够稀释光刻胶的清洗液不断地对外壁进行清洗。清洗后形成的废液将由第一出口12和第二出口13的位置流出。由于清洗液是挥发性很强的化学药剂，为避免其挥发后污染空气，需要将上述清洗后形成的混着光刻胶的废液及其挥发出来的气体分开来分别回收，于是设计了气液分离装置设置在光刻胶涂覆设备的下方。

图2为现有技术气液分离装置的结构示意图，如图2所示，该气液分离装置14设置在光刻胶涂覆设备的下方，上述清洗后形成的废液可以经由第一出口12和第二出口13的位置流出后，被收集进该气液分离装置14中。该气液分离装置14包括装置体及腔室，废液由废液入口15进入该气液分离装置14后，其挥发的废气通过气体出口16被一高负压的鼓风机(Blower)抽走而进入废气收集管道，而液体部分则通过液体出口17进入到排液管道中。

但是，上述现有技术的气液分离装置存在以下技术缺陷：由于用于抽取废气的是一高负压的鼓风机，可能会出现废液也被吸入到废气收集管道中的情况；由于清洗液会马上挥发掉，废液中的光刻胶就会附着在废气收集管道的内壁上，长时间累积下来就会把废气收集管道和鼓风机的扇叶堵塞，使其不能顺利的回收废气，并对设备造成严重损害。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种气液分离装置，以解决废液可能被吸入废气收集管道中而造成管道堵塞的情况，实现尽量减少废液的吸入量。

本实用新型提供一种气液分离装置，包括装置体及其内的腔室，所述装置体上设置有废液入口、气体出口和液体出口；所述腔室内设置有用于阻挡废液进入所述气体出口的多个挡片，所述挡片固定在所述装置体上。

如上所述的气液分离装置，所述挡片的数量为至少四个。

如上所述的气液分离装置，所述多个挡片倾斜设置，与垂直线之间具有大于0度小于90度的夹角。

如上所述的气液分离装置，所述多个挡片与垂直线之间的夹角各不相同。

如上所述的气液分离装置，所述多个挡片间隔交错设置。

如上所述的气液分离装置，所述多个挡片包括用于使得废液直接落入所述装置体底部的第一挡片以及用于阻挡所述废液向所述气体出口处运动的第二挡片；所述第一挡片设置在所述废液入口的侧边，所述第二挡片设置在所述装置体的顶面和侧面上。

如上所述的气液分离装置，所述气体出口的出口方向为水平方向。

如上所述的气液分离装置，所述装置体的底面为倾斜底面，与水平面之间具有夹角。

如上所述的气液分离装置，所述夹角为20度～90度。

本实用新型的气液分离装置，通过在装置的腔室内设置角度不同的挡板，解决了废液可能被吸入废气收集管道中而造成管道堵塞的问题，有效防止了废液进入废气收集管道，方便了设备的维护。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术光刻胶涂覆设备的结构示意图；

图2为现有技术气液分离装置的结构示意图；

图3为本实用新型气液分离装置实施例的结构示意图。

附图标记说明：

11-旋转单元；        12-第一出口；    13-第二出口；

14-气液分离装置；    15-废液入口；    16-气体出口；

17-液体出口；        18-腔室；        19-挡片。

具体实施方式