[实用新型]用于太阳电池湿制程中的风刀板、风刀、风刀组及设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳电池制造领域，具体地涉及一种风刀板、风刀、风刀组及太阳电池湿制程设备。

背景技术

在太阳电池湿制程过程中，需要使用药液对硅片进行处理，经过药液处理后的工件(如硅片)需要从一个药液槽移动到下一个药液槽。

在太阳电池湿制程中，工件在药液槽之间转移的空间和时间都比较有限，工件刚出一个药液槽就要进入下一个药液槽，甚至工件同时位于两个药液槽内，即工件的后一半仍位于一个药液槽内，工件的前一半已经进入另一个药液槽内。

工件在药液槽之间转移的过程中，工件表面会残留有大量的药液，甚至有大量药液会沿着工件流出，既造成药液的浪费，又增加下一步处理时的清洗难度。因此需要对工件进行处理，清除工件表面残留的药液。

传统的干燥设备为离心式甩干机，需要把硅片装到专用的硅片盒内，再装入离心机甩干。此种方式需要把硅片从药液槽内取出放入专门的离心式甩干机中进行操作，也不能直接安装在太阳电池湿制程中。

现有技术中还可以采用风刀进行干燥并阻止残留液体流向下一道工序，通常的风刀结构是在风刀板上开设一条细缝作为出风口。现有技术存在如下的缺陷：当工件上的药液较多时，除液效果不好，不能有效清除其表面的残留药液，并存在耗气量大的缺点。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种除液装置，可以直接安装在太阳电池湿制程的药液槽内或药液槽之间，并能有效地清除工件表面的残留药液，防止药液随着工件进入下一道处理工序。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种风刀板，所述风刀板内部具有一沿板长方向延伸的空腔，所述空腔的一侧开设有由所述风刀板外侧导通至所述空腔内的第一进风口，其特征在于，所述空腔的另一侧开设有多行沿板长方向排布的喷孔，所述空腔通过所述多行喷孔导通至所述风刀板外侧。

作为优选，所述喷孔为两行，所述两行喷孔错位排列并且沿所述风刀板的板长方向均匀设置。

优选地，所述喷孔的孔径为0.15～0.5mm，每行所述喷孔之间的间距为所述孔径的8～15倍。

优选地，所述第一进风口设置在所述风刀板沿板长方向伸展的一个侧面上，所述喷孔设置在与所述第一进风口相对的另一个侧面上。

优选地，所述第一进风口为一沿所述风刀板的板长方向延伸的通槽。

进一步地，所述空腔内设置有垂直于所述通槽的加强肋。

本实用新型还提供了一种挡液风刀，包括一个连接管和一个进气接头，其特征在于，还包括一个如上所述的任意一种风刀板；所述连接管的两端设置有用于封闭所述连接管两端的堵头，其管壁上相对开设有出风口和第二进风口，所述连接管沿所述风刀板板长方向与所述风刀板连接，所述连接管的所述出风口与所述风刀板的所述第一进风口导通；所述进气接头与所述第二进风口连接。

作为优选，所述风刀板和连接管的材质均为聚氯乙烯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚偏氟乙烯或聚四氟乙烯。

作为优选，所述风刀板粘结或焊接在所述连接管上。

本实用新型还提供了一种挡液风刀组，其特征在于，包括两个如上所述的任意一种挡液风刀；两个所述挡液风刀分别对称安装在水平运动的工件的上方和下方，每个所述挡液风刀的出风孔的轴线沿竖直方向设置并偏向所述工件运动的反方向。

作为优选，每个所述挡液风刀的出风孔的轴线与竖直方向的夹角大小为5°～15°。

本实用新型还提供了一种太阳电池湿制程设备，其特征在于，包括上述的任意一种挡液风刀组。

本实用新型具有如下有益效果：结构简单，可以直接应用于太阳电池湿制程设备的药液槽内或药液槽之间；阻挡残留液体的效果明显，耗气量较低，需求的气体压力较低。

附图说明

图1是本实用新型实施例的风刀板的主视示意图(图中喷孔的位置用短划表示)；

图2是图1的俯视放大示意图(从喷孔方向看)；

图3是图2沿A-A方向的剖面放大图；

图4是本实用新型实施例的挡液风刀的主视示意图(图中喷孔的位置用短划表示)；

图5是图4沿C-C方向的剖面放大图；

图6是图4中连接管的俯视示意图(从出风口看)；

图7是图6沿B-B方向的剖面放大图；

图8是本实用新型实施例的挡液风刀组的安装示意图；

图9是图8的一个挡液风刀的安装的放大示意图(图中箭头代表工件的运动方向)。

具体实施方式

下面参照附图详细描述本实用新型的实施方式。