[实用新型]单晶炉真空铰链安全阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉真空铰链安全阀。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

单晶炉在硅单晶拉制过程中，当炉体漏水等异常情况发生时，炉压会突然增大时，炉内会从真空变更高压状态，这时需要通过安全阀打开放气，泄压，从而减少安全隐患。

如图1所示，现有的安全阀包括压紧弹簧1、导杆螺钉2、盖板3和四通管4，所述的盖板3通过导杆螺钉2盖在四通管4的放气口上，导杆螺钉2上设置压紧弹簧1，所述的盖板3和四通管4之间用密封圈5密封。装有该安全阀的单晶炉在工作中炉内压力升高时，压力克服压紧弹簧1后盖板3打开泄压；这种方式使得弹力不易调节造成放气不畅通，而且在硅单晶拉制过程中，会产生大量的氧化物，顺着真空管道排放，拉晶结束后，需要打开真空管道清扫，这时就需要先卸掉导杆螺钉2、压紧弹簧1和盖板3，清扫完毕后，还需要再装上，操作不便。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种单晶炉真空铰链安全阀，该安全阀无弹性复位机构，放气可靠，打开清扫方便。

本实用新型是这样实现的：一种单晶炉真空铰链安全阀，包括盖板、四通管、密封圈、铰链座和铰链销，所述的盖板设置在四通管的放气口上，所述的铰链座固定在四通管的放气口便，盖板的一侧通过铰链销铰接在铰链座上，盖板与四通管之间用密封圈密封。

所述四通管的放气口向上设置，所述的铰链座设置在四通管上的位置高于放气口。

本实用新型单晶炉真空铰链安全阀为铰接式翻开结构，盖板利用真空和重力密封覆盖在四通管的放气口上，无需弹性机构，卸压时炉内气体压力自然会推开盖板，放出气体，，从而增加了设备的安全性；而且该铰链式安全阀，清扫真空管道时，无需拆卸部件，打开更方便。 

附图说明

图1为现有的安全阀结构示意图；

图2为本实用新型单晶炉真空铰链安全阀结构示意图。

图中：1压紧弹簧、2导杆螺钉、3盖板、4四通管、5密封圈、6铰链座、7铰链销。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型表述的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

实施例1

如图2所示，一种单晶炉真空铰链安全阀，包括盖板3、四通管4、密封圈5、铰链座6和铰链销7，所述的盖板3设置在四通管4的放气口上，所述的铰链座6固定在四通管4的放气口便，盖板3的一侧通过铰链销7铰接在铰链座6上，盖板3与四通管4之间用密封圈5密封。

因为单晶炉在工作时内部为真空，所以盖板3被吸附在放气口上并通过密封圈5密封，为了操作方便使盖板能直接放置，不用开始时人工操作，在本实施例中四通管4的放气口向上设置，所述的铰链座6设置在四通管4上的位置高于放气口，这样盖板3就在重力的作用下直接盖在放气口上，更加方便。

当单晶炉内漏水，压力升高，超过外界压力时，单晶炉内气体压力会推动盖板1围绕铰链销4旋转，打开该盖板1，放出气体，起到泄压目的，从而增加设备的安全性；需要清扫真空管道时，也仅需要将盖板1围绕铰链销4翻转上来即可，十分方便。