[实用新型]X荧光光谱仪探测器薄膜窗口支撑网架

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种X荧光光谱仪中的部件，尤其是涉及一种用于X荧光光谱仪分光系统与流气式探测器之间薄膜窗口的支撑网架。

背景技术

波长色散X荧光光谱仪是定量检测材料化学成份精密仪器，广泛应用于建材、冶金、环保和科研等领域。X射线晶体分光系统与探测系统是光谱仪中最核心的部件。分光系统内为真空，探测器分为流气式探测器和封闭探测器两种，其中，流气式探测器内为正压，而封闭式探测器内则为比分光系统真空度更高的真空。探测器与分光系统直接连接，由于两个系统内的气体压力存在着不同，为使这两个系统内气体压力相互间不受影响，通常需要在这两个系统之间设置一层隔离膜。考虑到隔离膜会对通过的X射线带来衰减，为了最大程度地减少隔离膜对X射线造成的衰减，需要采用很薄的隔离膜，一般隔离膜的膜厚选择为1-2μ。但是由于隔离膜很薄，两个系统之间存在的压力差会导致隔离膜发生变形甚至引超隔离膜破损，这样需要在压力低的一边设置支撑网架，用来保护隔离膜使得隔离膜不发生变形。

国外同类设备上采用的支撑网架是利用铜板光刻技术，在一个薄铜板上，用光刻技术刻出所需间距的空隙而形成支撑网。然而由铜板光刻技术得到的支撑网存在以下问题：(1)只能用金属材料制成支撑网；(2)支撑网是由很薄铜板制作而成，支撑强度较差，容易发生支撑网断丝或整体发生变形；(3)在高倍放大镜下观察，光刻网格的边缘有很多毛刺，在使用过程中，在与隔离膜发生挤压和裹缠时，会刺破隔离膜而造成隔离膜漏气；(4)由于光刻支撑网很薄，应用中易与隔离膜挤压和裹缠在一起，造成不易拆开，而硬性拆开会损坏光刻支撑网，因而通常只能使用一次。

有研究表明，采用非金属丝的支撑网能够使得X射线的通过率提高一倍以上。由于所使用的支撑网的材质和疏密程度也会对X射线的通过有很大影响，甚至会直接影响X荧光光谱仪的性能，为了减少支撑网带来的影响，原则上网丝线径应尽可能细，且线间距要尽可能大。因此，采用非金属的细丝制成间距较大，同时支撑强度高的支撑网是一个有待解决的难题。

发明内容

针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种对隔离膜挤压不会发生变形，支撑强度好且能够反复使用的而且便于安装的X荧光光谱仪探测器薄膜窗口支撑网架。

为解决上述问题，本实用新型的X荧光光谱仪探测器薄膜窗口支撑网架包括支撑体和设置在支撑体上的支撑网，支撑体为具有厚度的板，在支撑体的中间设有透穿的长槽，且该长槽为开口由上向下变小而形成楔形长槽，支撑网为由丝线织成的网构成且将其固定在支撑体下部表面。

作为本实用新型的一种改进，在支撑体的厚度方向的周边中部设有一道沟槽，使得支撑体分为上、下两个部分，支撑体的下部周边开设有缺口，支撑网是由丝线通过缺口垂直地穿过楔形长槽并行走于不同缺口之间绕行而形成的网。

支撑网架的支撑体既可以是长圆形也可以是圆形。

作为本实用新型的另一种改进，上述缺口由设在支撑体横向方向的第一组缺口和设在支撑体纵向方向的第二组缺口组成，丝线可以仅在第一组缺口之间行线或仅在第二组缺口之间行线而形成丝线平行的网；也可以先在第一组缺口之间行线后又在第二组缺口之间行线而形成交叉的网。

丝线可以选择是金属的或是非金属，丝线的线径可以根据具体情况而定。丝线的间距依据X射线衍射的情况和隔离膜的厚度的不同可以进行适当地调整，具体地说，丝线在缺口转折时可以通过选择间隔不同数量的缺口来调整行走丝线的间距。由于丝线在边槽内中缠绕，丝线的高度不会超出支撑网架的外形，这样不会影响支撑网架在光路系统内的安装。

本实用新型另一目的是提供一种装有该支撑网架的X荧光光谱仪。该X荧光光谱仪，包括分光系统和探测器，还设置有前述支撑网架，和在探测器前端的与支撑网架相配的、用于安装支撑网架的凹槽，支撑网架上的支撑网朝向探测器的隔膜。

由于采用了以上设计，在本实用新型的支撑网架中，支撑网是绕在具有一定厚度的支撑体上，在对隔离膜发生挤压时，支撑网也不易发生变形，具有支撑强度好且支撑网面不会与隔离膜粘连因而能够反复使用的优点；配合X荧光光谱仪探测器薄膜窗口上的凹槽，还有便于安装的效果。

附图说明

图1为X荧光光谱仪分光器及探测器窗口结构原理图。

图2为图1中探测器与支撑网架连接部局部放大图。

图3(a)为长形探测器薄膜窗口支撑网架一种实施方式结构图。

图3(b)为图3(a)的A-A方向的截面图。

图4为长形探测器薄膜窗口支撑网架另一种实施方式结构图。

图5(a)为圆形探测器薄膜窗口支撑网架实施方式结构图。