[实用新型]一种晶棒平磨抛光机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶棒平磨抛光机。

背景技术

在晶棒的生产过程中，需要对晶棒的外表面进行平磨抛光，普遍采用的方法是手持角向磨光机对晶棒进行手工打磨。这种方法对操作人员的技术水平要求非常高，且由于人员素质参差不齐的原因，整体抛光效果不好，工艺稳定性差，同时，既费工费力，又生产效率低。

发明内容

本实用新型的目的是提供能替代手工作业，且抛光效果好的一种晶棒平磨抛光机。

本实用新型采取的技术方案是：一种晶棒平磨抛光机，包括机架、抛光轮、底座、左右轨道、左右轨道轴承、左右传动杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶棒夹具；其中的抛光轮设置在机架上，机架固定在底座上，晶棒夹具设置在晶棒托架上；其特征在于左右轨道设置在底座上，左右传动杆固定在底座或基座上，基座设置在左右轨道轴承上，左右轨道轴承设置在左右轨道上，且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动；晶棒托架固设在前后轨道轴承上，前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基座上，前后轨道轴承设置在前后轨道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动。

一种晶棒平磨抛光机，包括机架、抛光轮、底座、左右轨道、左右轨道轴承、左右传动杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶棒夹具；其中的抛光轮设置在机架上，机架固定在底座上，晶棒夹具设置在晶棒托架上；其特征在于前后轨道设置在底座上，前后传动杆固定在底座或基座上，基座设置在前后轨道轴承上，前后轨道轴承设置在前后轨道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动；晶棒托架固设在左右轨道轴承上，左右传动杆固设在基座或晶棒托架上，左右轨道轴承设置在左右轨道，且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动。

采用本实用新型，只要将晶棒固定在晶棒托架上，并通过机械自动控制晶棒前后、左右移动，进行晶棒的抛光，可替代手工作业，且抛光效果好。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的示意图。

图2是本实用新型实施例二的示意图。

图中序号表示：机架1、抛光轮2、前后传动杆3、晶棒托架4、前后轨道轴承5、基座6、左右轨道轴承7、左右轨道8、底座9、晶棒夹具10、前后轨道11和左右传动杆12。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例一

参照图1，该晶棒平磨抛光机是通过普通钻床改进的，它包括机架1、抛光轮2、底座9、左右轨道8、左右轨道轴承7、左右传动杆12、基座6、前后轨道11、前后轨道轴承5、前后传动杆3、晶棒托架4和晶棒夹具10，其中的抛光轮2设置在机架1上，机架1固定在底座9上，晶棒夹具10设置在晶棒托架4上；左右轨道8设置在底座9上，左右传动杆12固定在底座9上(左右传动杆12也可固定在基座6上)，基座6设置在左右轨道轴承7上，左右轨道轴承7设置在左右轨道8上，且左右轨道轴承7通过左右传动杆12在左右轨道8上移动；晶棒托架4固设在前后轨道轴承5上，前后传动杆3固定在晶棒托架4上(或是固定在基座6上)，前后轨道轴承5设置在前后轨道11上，且前后轨道轴承5通过前后传动杆3在前后轨道11上移动。

使用时，把晶棒放置到晶棒托架4上，并用晶棒夹具10夹紧晶棒。按下启动按钮，钻头带动抛光轮2高速转动；同时，采用电机对左右传动杆12和前后传动杆3进行控制，利用电控程序对电机进行正反向运转设计(或是在左右轨道8和前后轨道11的某个位置设置一个限位开关，一旦左右传动杆12或是前后传动杆3碰到限位开关，电机将改变运转方向。)，即可实现晶棒前后、左右的来回移动并进行抛光，从而替代手工作业，且抛光效果好。

实施例二

参照图2，该晶棒平磨抛光机是通过普通钻床改进的，它包括机架1、抛光轮2、底座9、左右轨道8、左右轨道轴承7、左右传动杆12、基座6、前后轨道11、前后轨道轴承5、前后传动杆3、晶棒托架4和晶棒夹具10，其中的抛光轮2设置在机架1上，机架1固定在底座9上，晶棒夹具10设置在晶棒托架4上；前后轨道11设置在底座9上，前后传动杆3固定在底座9上(前后传动杆3也可固定在基座6上)，基座6设置在前后轨道轴承5上，前后轨道轴承5设置在前后轨道11上，且前后轨道轴承5通过前后传动杆3在前后轨道11上移动；晶棒托架4固定在左右轨道轴承7上，左右传动杆12固定在晶棒托架4上(或是固定在基座6上)，左右轨道轴承7设置在左右轨道8上，且左右轨道轴承7通过左右传动杆12在左右轨道8上移动。

使用时，把晶棒放置到晶棒托架4上，并用晶棒夹具10夹紧晶棒。按下启动按钮，钻头带动抛光轮2高速转动；同时，采用电机对左右传动杆12和前后传动杆3进行控制，利用电控程序对电机进行正反向运转设计(或是在左右轨道8和前后轨道11的某个位置设置一个限位开关，一旦左右传动杆12或是前后传动杆3碰到限位开关，电机将改变运转方向。)，即可实现晶棒前后、左右的来回移动并进行抛光，从而替代手工作业，且抛光效果好。