[实用新型]一种用于椭偏仪中晶体硅太阳电池检测的样品台

权利要求书

1.一种用于椭偏仪中晶体硅太阳电池检测的样品台，其特征在于，该样品台包括方位调节台和设置在其上的台面，方位调节台和台面之间还设置有台面连接件，该台面连接件上设置有两个用于承载台面的定位面，该两个定位面之间设置有54.7°±5°的夹角。

2.如权利要求1所述的用于椭偏仪中晶体硅太阳电池检测的样品台，其特征在于，两个所述定位面包括一个水平面和一个倾斜面。

3.如权利要求2所述的用于椭偏仪中晶体硅太阳电池检测的样品台，其特征在于，所述水平面和倾斜面上均设置有定位装置和连接装置，所述台面的背面设置有与定位装置相适配的定位结构、与连接装置相适配的连接结构。

4.如权利要求3所述的用于椭偏仪中晶体硅太阳电池检测的样品台，其特征在于，所述定位装置包括圆柱端面配合平面结构、倒三角形定位结构、半圆形定位结构。

5.如权利要求3所述的用于椭偏仪中晶体硅太阳电池检测的样品台，其特征在于，所述连接装置包括设置在其上的磁铁或连接插柱。

6.如权利要求1所述的用于椭偏仪中晶体硅太阳电池检测的样品台，其特征在于，所述台面上设置有安装待测样品的定位部。

7.如权利要求1所述的用于椭偏仪中晶体硅太阳电池检测的样品台，其特征在于，所述方位调节台上设置有在水平面X和Y方向平移、沿垂直的Z方向平移、以及俯仰两个转角调节的活动件。