[实用新型]自动消防系统

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种自动消防系统，特别是有关于一种适用于制造半导体或显示器的制程腔体的自动消防系统。

背景技术

目前，由于半导体组件及平面显示器的市场及需求量愈来愈大，使得IC厂及面板厂也愈来愈多。对一个八寸晶圆厂来说，建厂的总资本额通常超过约美金十亿左右，其中百分之七十是花在昂贵的半导体制程设备仪器上。在一般IC厂与面板厂中，无尘室(clean room)的购买与维持所需的花费是特别高的，所以设备的布局设计的精确具有决定性的影响。

在半导体及平面显示器的制程中，时常会运用到许多不同种类的有机溶液进行制程，例如在微影制程所使用的光阻液，以及蚀刻制程使用的去光阻液等，都是使用有机溶液进行相关制造程序。然而，由于有机溶液具有易挥发的特性，且其燃点相对较低，在现今高温制程极其普遍的情况下，便相当容易引起火灾，且不易扑灭。而对于无尘室的环境来说，一旦有火灾，便是灾难性的破坏无尘条件，故提供一个设于制程腔体周围的自动消防系统，就显的极为迫切了。

实用新型内容

有鉴于上述现有技术的问题，本实用新型的目的就是在提供一种自动消防系统，以解决在半导体及平面显示器制程中，不易扑灭有机溶液所引发的火灾的问题。

根据本实用新型的目的，提出一种自动消防系统，系用于制程腔体灭火，其包含设于制程腔体周围的至少一个检测单元、设于制程腔体周围的至少一个灭火单元、设于制程腔体邻近处的至少一个警示单元及控制单元，控制单元分别连接检测单元、灭火单元及警示单元。其中，检测单元用以检测制程腔体的燃烧条件，并提供检测信号至控制单元。而灭火单元则包含设于制程腔体周围的至少一个喷嘴、至少一个灭火气体供应系统及至少一个压力开关，喷嘴连接灭火气体供应系统；而当控制单元在接收检测信号后判断检测信号为特征值后，即判断为火灾发生，而向灭火单元发出灭火信号，而令灭火气体供应系统通过压力开关而排放灭火气体至喷嘴，根据喷嘴朝向燃烧条件处喷射灭火气体以进行灭火；同时，控制单元还向警示单元发出警示信号以进行警示。

其中，此自动消防系统还包含监视系统，系监视及记录至少一个检测单元的状况，从而得知此燃烧条件的位置。

综上所述，根据本实用新型的自动消防系统，其可具有一个或多个下述优点：

(1)此自动消防系统具有自动检测、自动灭火的功能，能在火灾发生的第一时间即进行灭火及警示相关人员，达到降低人力耗费的目的。

(2)此自动消防系统使用气体灭火的方式，可有效维护无尘室的无尘条件。

(3)此自动消防系统具备的监视系统可迅速的通知相关人员火警发生的位置，节省人力的耗费。

附图说明

图1为本实用新型的自动消防系统的方块图；以及

图2为本实用新型的自动消防系统的实施例的示意图。

主要符号说明：1为自动消防系统；10为检测单元；100为检测信号；101为火焰检测器；102为烟雾检测器；103为温度检测器；11为灭火单元；110为灭火气体供应系统；1100为灭火气体；1101为灭火气体储存装置；1102为压力开关；1103为管路；111为闭止阀；112为喷嘴；12为警示单元；120为警示灯；121为蜂鸣器；13为控制单元；130为警示信号；131为灭火信号；132为自动控制模块；133为手动控制模块；134为存储装置；14为监视系统；140为网络模块；141为监视器；142为伺服计算机；2为燃烧条件；以及3为制程腔体。

具体实施方式

以下将参照相关图式，说明根据本实用新型的自动消防系统的实施例，为便于理解，下述实施例中的相同组件以相同的符号标示来说明。

请参阅图1，其为本实用新型的自动消防系统的方块图。