[实用新型]一种硅片冲洗装置的连接机构无效
| 申请号： | 201020581158.X | 申请日： | 2010-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN201832811U | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 冲洗 装置 连接 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片冲洗装置的连接机构，其特征在于，包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠。
2.如权利要求1所述一种硅片冲洗装置的连接机构，其特征在于，所述连接座为管状构件，所述管状构件的内周面上均匀设有若干横向凹槽，所述滚珠均匀嵌入相应的凹槽内，并与所述凹槽活动连接。
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