[实用新型]无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件无效

专利信息
申请号: 201020581480.2 申请日: 2010-10-29
公开(公告)号: CN201858872U 公开(公告)日: 2011-06-08
发明(设计)人: 孙铁囤;荀建华;刘志刚;高玉山;潘盛;姚伟忠;陈琼 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: F27B9/24 分类号: F27B9/24;F27B9/30;F27D3/12;H01L31/18;H01L21/677
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 无网带 烧结炉 陶瓷 硅片 部件
【说明书】:

技术领域:

实用新型涉及一种太阳能电池片无网带烧结炉,尤其涉及硅片传输装置。

背景技术:

目前,国内外的太阳能电池生产制造厂家主要使用欧美企业所生产的烧结炉,这类烧结炉结构都是网带式隧道烧结炉,在烧结炉的纵向上依次设有预热排胶区、升温区、烧结区和降温区,在不同区域布置不同密度的加热灯管,以此来控制各区域的温度,印刷电极的硅片通过网带传输,依次经过烧结炉的不同炉温区,完成预热排胶、升温、烧结和降温的电极烧结过程,虽然这种网带式隧道烧结技术比较成熟,但整个烧结炉的纵向占地面积大,需要设计很长的炉体才能保证硅片在隧道传输过程中的预热排胶、升温、烧结、降温过程,由于高温烧结区的工艺温度需要在850-950℃之间,因此需要设计2-3米的隧道长度才能达到如此高的温度,这使得网带式烧结炉的体积庞大。若缩小则无法满足烧结工艺要求。另外,耐高温网带在运转的过程中,需要绕炉体内外循环运转,网带部分伴随硅片接受升温和降温的过程,因此,在运转过程中,网带会从炉内携带出大量的热量,而这部分热量将全部作为损耗,不仅造成了大量能量的浪费,而且也升高了工作环境温度,为此,申请人研制了一种太阳能电池片无网带烧结炉,它能很好地克服现有网带式隧道烧结炉存在的不足,这种设备占地面积小,热效率高,耗电量少,节能效果显著。

所述太阳能电池片无网带烧结炉,包括进料台1、隧道式烧结箱2、出料台3、硅片输送装置4和炉体架5,如图1所示,硅片输送装置4设置在进料台1和出料台3之间,且位于隧道式烧结箱2中,硅片输送装置4包括固定托架和移动托架,固定托架的两端分别固定在进料台1和出料台3中的固定底板上,移动托架的两端分别固定在由复升降机构和往复平移机构驱动的滑动板上,移动托架在往复升降机构和往复平移机构双重作用下,带动移动托架周期性地完成上升、前移、下降和后退动作,从而将放置在固定托架上的硅片逐步向前搬移。在这种无网硅电池片烧结炉中,无论固定托架还是移动托架都必须能长时间在850-950℃的高温环境下稳定工作,因此托架主体杆采用石英玻璃管,硅片托脚部件用钢质材料制成,这样就在如此温度条件下正常工作,

虽然硅片与钢质托脚之间为点接触或短线段接触,但是硅片背面的铝浆仍会在烧结过程中粘附在金属支架上,金属铝与钢质托脚在高温下会形成合金,在托脚接触点的上端形成球形的金属物质。不仅会导致碎片率的上升,还需要花费较大的人力和物力以及时间去维护,同时硅片仍然会由于与钢质托脚接触被金属离子玷污。

实用新型内容:

本实用新型的目的是提供一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件。

本实用新型所采用的技术方案是:

所述无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件,其特征是:它包括金属套、钢丝托脚、陶瓷涂层和限位螺钉,钢丝托脚焊接在金属套上,在金属套上设有螺纹孔,限位螺钉旋接在金属套上的螺纹孔中,在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。

进一步,在金属套上还设有开口。

由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐酸、化学稳定、耐热震性、电绝缘性能良好的优点,它很适合作为硅片托架的主体杆,空心管结构吸热量少。硅片托脚部件由金属套、钢丝托脚、陶瓷涂层和限位螺钉组成,钢丝托脚焊接在金属套上,在金属套上设有螺纹孔,限位螺钉旋接在金属套上螺纹孔中,在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于陶瓷具有很高的熔点和很好的耐磨性,从硅片背面粘附的铝浆不易与之形成尖锐合金体,能降低传输过程中的破损率。这样既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求,降低硅片在烧结过程中由于与金属接触导致硅片被金属离子玷污。在金属套上开设开口,便于金属套在石英玻璃管的套装;在金属套上开设螺纹孔,在石英玻璃管上开设定位孔,都是为了便于用限位螺钉将金属套固定在石英玻璃管上。

附图说明:

图1为无网带硅电池片烧结炉的结构示意图;

图2为本实用新型的结构示意图;

图3为本实用新型安装在石英玻璃管上的结构示意图;

图中:1-进料台;2-隧道式烧结箱;3-出料台;4-硅片输送装置;5-炉体架;41-金属套;42-钢丝托脚;43-陶瓷涂层;44-限位螺钉;45-螺纹孔;46-开口;47-石英玻璃管。

具体实施方式:

下面结合说明书附图说明本实用新型的具体实施方式:

所述无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件,如图2~图3所示,它包括金属套41、钢丝托脚42、陶瓷涂层43和限位螺钉44,钢丝托脚42焊接在金属套41上,在金属套41上设有螺纹孔45和开口46,限位螺钉44旋接在金属套41上螺纹孔45中,在钢丝托脚42的外表面上设有陶瓷涂层43。在实际使用过程中,本实用新型通过金属套41套装在石英玻璃管47上。

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