[实用新型]硅片移动托架的升降机构无效
| 申请号： | 201020581489.3 | 申请日： | 2010-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201858874U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 孙铁囤;荀建华;刘志刚;高玉山;潘盛;姚伟忠;陈琼 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B9/30 | 分类号： | F27B9/30;F27D3/12 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 移动 托架 升降 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片移动托架的升降机构，其特征是：包括水平推杆(61)、摆杆(62)、转轴(63)、轴承座(64)、偏心轮(65)、滚轮(66)、耳座(67)、活动板(15、35)和固定底板(11、31)，转轴(63)通过轴承座(64)安装在固定底板(11、31)上，偏心轮(65)固定安装在转轴(63)上，摆杆(62)的上端固定安装在转轴(63)上，转轴(63)可转动地安装在固定底板(11、31)上，摆杆(62)的下端与水平推杆(61)铰接，滚轮(66)通过耳座(67)固定在活动板(15、35)的下端面上，滚轮(66)与偏心轮(65)相接触。
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