[实用新型]一种硅片烧结炉的点接触式网带无效

专利信息
申请号: 201020581860.6 申请日: 2010-10-29
公开(公告)号: CN201858877U 公开(公告)日: 2011-06-08
发明(设计)人: 黎慧华 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: F27B9/30 分类号: F27B9/30;F27B9/24
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 烧结炉 点接触 式网带
【权利要求书】:

1.一种硅片烧结炉的点接触式网带,它由横向钢丝(1)和纵向钢丝(2)编织而成,其特征是:在横向钢丝(1)或纵向钢丝(2)上等间距地设有点接触凸体(3)。

2.根据权利要求1所述一种硅片烧结炉的点接触式网带,其特征是:在横向钢丝(1)上等间距地设有点接触凸体(3)。

3.根据权利要求1所述一种硅片烧结炉的点接触式网带,其特征是:在点接触凸体(3)的表面设有陶瓷涂层(4)。

4.根据权利要求1所述一种硅片烧结炉的点接触式网带,其特征是:所述点接触凸体(3)的截面形状为倒V形,其顶端为圆弧(5)。

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