[实用新型]一种硅片烧结炉的点接触式网带无效
申请号: | 201020581860.6 | 申请日: | 2010-10-29 |
公开(公告)号: | CN201858877U | 公开(公告)日: | 2011-06-08 |
发明(设计)人: | 黎慧华 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | F27B9/30 | 分类号: | F27B9/30;F27B9/24 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 烧结炉 点接触 式网带 | ||
1.一种硅片烧结炉的点接触式网带,它由横向钢丝(1)和纵向钢丝(2)编织而成,其特征是:在横向钢丝(1)或纵向钢丝(2)上等间距地设有点接触凸体(3)。
2.根据权利要求1所述一种硅片烧结炉的点接触式网带,其特征是:在横向钢丝(1)上等间距地设有点接触凸体(3)。
3.根据权利要求1所述一种硅片烧结炉的点接触式网带,其特征是:在点接触凸体(3)的表面设有陶瓷涂层(4)。
4.根据权利要求1所述一种硅片烧结炉的点接触式网带,其特征是:所述点接触凸体(3)的截面形状为倒V形,其顶端为圆弧(5)。
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