[实用新型]倒角机工件规正检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种倒角机工件规正检测装置。

背景技术

半导体硅片是超大规模集成电路的主要衬底材料。为了获得较高精度的形状，在半导体硅片的生产过程中需要进行倒角加工，倒角后的硅片精度直接影响到产品的几何参数。目前，倒角机的送料部分只有初步的规正调节机构，不能满足高精度加工的需要。

实用新型内容

本实用新型是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种能够对硅片进行规正，并对规正后的硅片进行检测，以提高加工精度的倒角机工件规正检测装置。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种倒角机工件规正检测装置，其特征在于，包括基座，所述基座上固定安装有规正汽缸和电子尺，所述电子尺的测量杆通过连接板与两个导杠一端固定连接，两个导杠的另一端与导轮固定板固定连接，所述导轮固定板上安装有两个可自由转动的规正导轮，两个导杠分别置于固定在基座上的导套内，所述规正汽缸的推杆与规正调节板固定连接，两个导杠与所述规正调节板固定连接，所述规正调节板与基座之间安装有弹簧，所述电子尺的信号输出端通过模数转换器与倒角机PLC控制器的检测信号输入端连接，所述倒角机PLC控制器分别与触摸屏和报警器连接。

所述规正导轮的表面为弹性材料。

本实用新型具有下述技术效果：

本实用新型的规正检测装置能够对经过初步规正调节的硅片工件再次进行规正，并对规正后的工件进行检测，以保障工件送到加工台上的精度，从而提高工件加工精度，满足高精度加工的需要。

附图说明

图1为本实用新型倒角机切边规正检测装置的结构示意图；

图2为规正部分的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。

本实用新型倒角机切边规正检测装置的结构示意图如图1和图2所示，包括基座4，基座4上固定安装有规正汽缸5和电子尺6，电子尺6的测量杆通过连接板9与两个导杠3一端固定连接，两个导杠3的另一端与导轮固定板2固定连接，导轮固定板2上安装有两个可自由转动的规正导轮1，两个导杠分别置于固定在基座上的导套内，规正汽缸5的推杆与规正调节板8固定连接，两个导杠3与规正调节板8固定连接，规正调节板8与基座4之间安装有弹簧7，电子尺6的信号输出端通过模数转换器与倒角机PLC控制器的检测信号输入端连接，所述倒角机PLC控制器分别与触摸屏和报警器连接。报警器可以采用指示灯报警、声光报警等。

为了防止规正导轮对硅片的损伤，规正导轮1的表面为弹性材料。

当规正汽缸5的推杆伸出时带动规正调节板8，从而带动与规正调节板8固定连接的两个导杠3在导套内移动，两个导杠带动导轮固定板上的规正导轮与工件分离，同时弹簧7被拉伸。当规正汽缸5的推杆收缩时带动规正调节板8，从而带动与规正调节板8固定连接的两个导杠3在导套内移动，两个导杠带动导轮固定板上的规正导轮向工件移动，同时弹簧复位。由于弹簧弹力的作用，能够防止规正导轮对工件的损伤。通过电子尺测量杆可以得到导杠的位移数值，导杠位移的数值被模数转换器转换成数字量后送到倒角机PLC控制器，与倒角机PLC控制器中存储的设定值进行比较，如果与设定值接近，则认为规正到位，倒角机PLC控制器控制进入下一步动作。如果电子尺检测的位移数值与设定值之间差距较大，则倒角机PLC控制器输出报警信号进行报警，则人工对工件进行调节，重复送料动作，直到导杠位移数值达到要求，再进行下一步动作。