[实用新型]单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器

权利要求书

1.一种单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器，其特征在于，其包括有能产生泵浦光的泵浦源、对泵浦光进行准直及聚焦的准直聚焦系统及对泵浦光进行倍频以产生紫外激光的折叠谐振腔，所述泵浦源发出的泵浦光经过所述准直聚焦系统后进入所述折叠谐振腔，所述折叠谐振腔内设有激光晶体、Q开关及用以产生和分离紫外激光的倍频器与棱镜。

2.如权利要求1所述的单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器，其特征在于，所述泵浦源采用半导体二极管泵浦源，所述泵浦源输出端带有光纤，所述泵浦源采用光纤耦合输出。

3.如权利要求2所述的单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器，其特征在于，所述准直聚焦系统由前端平凸球面透镜和后端平凸球面透镜组成，所述光纤的输出端位于所述前端平凸球面透镜的焦点上，所述前端平凸球面透镜的凸面和所述后端平凸球面透镜的凸面相对设置。

4.如权利要求1所述的单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器，其特征在于，所述折叠谐振腔包括有泵浦端反射镜、折叠反射镜和尾端反射镜，所述泵浦端反射镜的镜面与所述折叠反射镜的镜面之间呈有夹角，所述折叠反射镜与所述尾端反射镜的镜面之间呈有夹角，且所述泵浦端反射镜与所述尾端反射镜均位于所述折叠反射镜的同侧。

5.如权利要求4所述的单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器，其特征在于，所述激光晶体位于所述泵浦端反射镜与所述折叠反射镜之间，所述Q开关位于所述激光晶体与所述折叠反射镜之间，所述倍频器位于所述尾端反射镜与所述折叠反射镜之间，所述倍频器靠近所述折叠反射镜的一侧设置有棱镜。

6.如权利要求5所述的单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器，其特征在于，所述倍频器包括有二倍频晶体、三倍频晶体及温控单元，该二倍频晶体位于靠近尾端反射镜的一侧，该三倍频晶体位于所述二倍频晶体与所述折叠反射镜之间，所述三倍频晶体靠近所述折叠反射镜的一侧设置有所述棱镜。

7.如权利要求6所述的单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器，其特征在于，所述棱镜为直角三棱镜，该棱镜的一直角边贴附所述三倍频晶体。

8.如权利要求1所述的单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器，其特征在于，所述激光晶体为掺钕钒酸钇晶体或掺钕钇铝石榴石晶体，所述二倍频晶体与三倍频晶体的材料均为三硼酸锂晶体。

9.如权利要求1所述的单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器，其特征在于，所述Q开关为声光Q开关或电光Q开关。

10.如权利要求4所述的单端泵浦腔内倍频紫外固体激光器，其特征在于，所述尾端反射镜角度能够调节。