[实用新型]柔性薄膜太阳能光电池连续自动化生产设备

权利要求书

1.一种柔性薄膜太阳能光电池连续自动化生产设备，其特征在于：所述设备是一条由基材金属箔卷到光电池成品卷的完全连续化自动化密闭真空生产线，所述设备从一侧到另一侧各真空溅射室依次为：基材金属箔卷进料室、基材辉光放电等离子净化室、氧化钛绝缘层真空镀膜室、背电极铜钼钠合金真空镀膜室、反射层铝真空镀膜室、吸收层P型半导体真空镀膜室、固态硒化硫化室、降温室、窗口层硫化锌N型半导体真空镀膜室、隔离层i-SiO₂真空镀膜室、上电极氧化锌铝真空镀膜室、减反射膜真空镀室、助焊层真空镀膜室、冷却降温室、光电池成品收卷室，所述各个真空溅射室之间通过狭縫隔离阀固定连接。

2.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳能光电池连续自动化生产设备，其特征在于：所述各真空溅射室采用的材质为硬质不锈钢，且真空度要求为1.6X10^-4Pa。

3.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳能光电池连续自动化生产设备，其特征在于：所述进料室和所述出料室为真空状态或者常压状态，两者可以互换。

4.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳能光电池生产设备，其特征在于：所述基材辉光放电等离子净化室、所述氧化钛绝缘层真空镀膜室、所述背电极铜钼钠合金真空镀膜室、所述反射层铝真空镀膜室、所述吸收层铜铟镓硒P型半导体真空镀膜室、所述固态硒化硫化室、所述降温室、所述窗口层硫化锌N型半导体真空镀膜室、所述隔离层i-SiO₂真空镀膜室、所述上电极氧化锌铝真空镀膜室、助焊层钖真空镀膜室、所述减反射膜真空镀室和所述冷却降温室为充氩气或者氮气介质的真空室。