[实用新型]一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统，跨越设置在洁净度不同的第一区域和第二区域，其中，第一区域的洁净度高于第二区域；该化学气相沉积系统包含依次连接的加载台、第一承载室、多个化学气相沉积反应室、第二承载室和卸载台；其特征在于：

所述的化学气相沉积系统整体呈弓形设置；其中，

所述的加载台和卸载台设置在第一区域中；

所述的第一承载室、多个化学气相沉积反应室和第二承载室设置于第二区域中。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，该化学气相沉积系统包含三个部分：

所述的加载台与第一承载室依次连接构成第一部分，即为该弓形化学气相沉积系统的其中一个弓翼部分；

所述的卸载台与第二承载室依次连接构成第三部分，即为该弓形化学气相沉积系统的另一个弓翼部分；

所述的至少一个化学气相沉积反应室作为中间连接反应室构成第二部分，即为该弓形化学气相沉积系统的弓身部分。

3.如权利要求2所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述的化学气相沉积系统的第一部分还包含依次连接的多个首部化学气相沉积反应室，其设置在第一承载室与中间连接反应室之间，位于第二区域。

4.如权利要求2所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述的化学气相沉积系统的第三部分还包含依次连接的多个尾部化学气相沉积反应室，其设置在第二承载室与中间连接反应室之间，位于第二区域。

5.如权利要求1-4中任一所述的化学气相沉积系统，其特征在于，在所述的加载台与第一承载室之间、第一承载室与首个化学气相沉积反应室之间、卸载台与第二承载室之间、以及第二承载室与最后一个化学气相沉积反应室之间均设置有隔离阀门。

6.如权利要求5所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述的化学气相沉积反应室是低压化学气相沉积反应室。

7.如权利要求6所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述的第二区域内设置维修区域，该维修区域被所述的弓形化学气相沉积系统围设形成。