[实用新型]用于测量透明板中的处理引起特征的装置

权利要求书

1.一种用于测量透明板中的处理引起特征的装置，包括：

光源；

成像装置；以及

透明板支承结构，所述透明板支承结构设置在所述光源和所述成像装置之间，

其中，所述支承结构构造成且设置成支承所述透明板，以使由所述支承结构引起的测量误差在沿第一轴线或平行于第一轴线延伸时被所述成像装置观察到，当通过所述成像装置进行观察时，所述透明板中的所述处理引起特征沿第二轴线或平行于第二轴线延伸，所述第一轴线倾斜于所述第二轴线。

2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述支承结构包括棒，所述棒沿倾斜于所述第二轴线的轴线延伸。

3.如权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述棒包括开口，所述支承结构包括与所述开口连通的真空源。

4.如权利要求2所述的测量装置，其特征在于，在所述棒之间设有空间，所述棒包括第一宽度，而所述空间包括第二宽度，此外，所述第一宽度小于或等于所述第二宽度。

5.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述成像装置包括沿第三轴线定向的像素，其中，支承结构包括这样的空间：通过这些空间可由所述成像装置观察到源自所述光源的光线，这些空间包括与所述第一轴线平行的纵向轴线，并且其中，所述第三轴线相对于所述纵向轴线倾斜。