[实用新型]双敏感层体声波氢气谐振传感器无效
| 申请号： | 201020597554.1 | 申请日： | 2010-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN201903532U | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 王璟璟;陈达;张玉萍;张会云;干耀国 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266510 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 敏感 声波 氢气 谐振 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种双敏感层体声波氢气谐振传感器，包括谐振器和敏感层，其特征在于，谐振器的电极同时作为氢气敏感层，从下向上依次设置基底(1)、设置在基底(1)上的空洞(5)、下敏感金属层(2)、压电薄膜层(3)和上敏感金属层(4)；下敏感金属层(2)、压电薄膜层(3)、上敏感金属层(4)和空洞(5)的面积依次减小；上敏感金属层(4)和下敏感金属层(2)都暴露在环境气氛中，可以吸附环境中的氢气分子。
2.根据权利要求1所述的双敏感层体声波氢气谐振传感器，其特征是，所述的下敏感金属层(2)，为金属钯或者钯铂合金，其优选的厚度为200纳米至400纳米。
3.根据权利要求1所述的双敏感层体声波氢气谐振传感器，其特征是，所述的上敏感金属层(4)，为金属钯或者钯铂合金，其优选的厚度为100纳米至200纳米。
4.根据权利要求1所述的双敏感层体声波氢气谐振传感器，其特征是，所述的压电薄膜层(3)，为氮化铝、氧化锌或者皓钛酸铅薄膜，其优选的厚度为1微米至3微米。
5.根据权利要求1所述的双敏感层体声波氢气谐振传感器，其特征是，所述的基底(1)为硅片或玻璃。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东科技大学，未经山东科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020597554.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种通过变频调速在线快速检测比耗氧速率的装置
- 下一篇：用于定硫仪的送样组件
