[实用新型]指纹传感器、用于指纹传感器的薄膜

说明书

技术领域

本发明涉及半导体传感器技术领域，尤其涉及一种指纹传感器、用于指纹传感器的薄膜。

背景技术

随着指纹识别技术的发展，指纹识别系统越来越多地应用在日常生活中，例如指纹识别门禁系统，带有指纹识别系统的笔记本电脑等。

指纹识别系统包括指纹传感器和驱动电路单元，其中：指纹传感器用于探测指纹当前用户指纹图案，并且将所述当前用户指纹图案转换成电信号的指纹信息，驱动电路单元，用于驱动所述指纹传感器，并且处理指纹传感器探测到的指纹信息。

根据测试原理的不同，指纹传感器包括压力式指纹传感器、电容式指纹传感器、光电式指纹传感器等。参考图1，示出了压力式指纹传感器一实施例的示意图。所述压力式指纹传感器包括元件层以及位于元件层之上的薄膜102，其中元件层包括衬底，以及位于衬底上的多个传感器元件101，所述多个传感器元件101在衬底上呈矩阵式排列，所述薄膜102一方面用于保护所述传感器元件101，另一方面还用于连接传感器元件101和地端。

进行指纹识别时，手指按压到薄膜102上，手指指纹的凸起和凹陷的特性通过薄膜转移到传感器元件101上，同时薄膜102可用于连接传感器元件101和地端，所述指纹的凸起和凹陷在传感器元件101上产生不同的压力，所述传感器元件101将不同压力转化为与压力对应的电信号，所述驱动电路单元后续通过所述电信号获取指纹信息。

由此可见，薄膜102在指纹识别过程中起到多方面的作用，具体地，所述薄膜102用于保护传感器元件101，因此所述薄膜102需具有抗磨、抗刮的特性；所述薄膜102需将手指指纹的凸起和凹陷转移到传感器元件101上，因此所述薄膜的厚度较小；与此同时，所述薄膜102还需能连接所述传感器元件101和地端，因此所述薄膜102能够导电。

现有技术中采用单层的金薄膜用作薄膜102，成本较高。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种用于指纹传感器的薄膜，降低成本。

为解决上述问题，本发明一种用于指纹传感器的薄膜，所述薄膜包括PET薄膜以及位于所述PET薄膜下的金属薄膜。

较佳地，所述薄膜的厚度小于或等于12微米。

较佳地，所述金属薄膜的厚度为10～90纳米。

较佳地，所述PET薄膜的表面硬度为1H～4H。

较佳地，所述金属薄膜的电阻值小于或等于1欧姆。

相应地，本发明还提供一种包括上述任一用于指纹传感器的薄膜的指纹传感器，所述传感器包括元件层，所述元件层包括用于探测指纹信息的多个传感器元件，所述金属薄膜覆盖于所述多个传感器元件上。

较佳地，所述指纹传感器包括线型或面型的指纹传感器。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

1.所述金属薄膜的电阻值小于或等于1欧姆，可有效连接位于金属薄膜下方的传感器元件和地端；同时所述薄膜厚度小，可将指纹的形貌转移给位于薄膜下方的传感器元件，因此所述指纹传感器的分辨率较高；

2.所述绝缘薄膜可达到1H～4H的表面硬度，可以保护传感器元件不受损害，防止传感器元件在多次触碰下失效的问题，从而改善了指纹传感器的老化问题；

3.所述薄膜采用PET作为绝缘薄膜、采用铜或钛作为金属薄膜，材料成本较低，此外，形成所述薄膜的工艺步骤较为简单、并且容易实现，所述指纹传感器的制造成本较低。

附图说明

图1是现有技术压力式指纹传感器一实施例的示意图；

图2是本发明用于指纹传感器的薄膜一实施方式的示意图；

图3是本发明指纹传感器一实施方式的示意图；

图4是本发明指纹传感器一实施例的示意图；

图5是本发明指纹传感器另一实施例的示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广。因此本发明不受下面公开的具体实施方式的限制。

针对背景技术中所描述的缺点，本发明提供一种用于指纹传感器的薄膜，参考图2，示出了本发明用于指纹传感器的薄膜一实施方式的示意图。所述薄膜包括绝缘薄膜202和位于绝缘薄膜202下方的导电薄膜201。

所述绝缘薄膜202为聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Terephthalate，PET)薄膜；在进行刮伤测试时，硬度1H～4H的铅笔均无法使PET薄膜的表面产生目视刮伤痕迹。