[实用新型]一种微弱应力检测装置无效
申请号: | 201020602801.2 | 申请日: | 2010-11-11 |
公开(公告)号: | CN201885837U | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 钟聪;石念宝 | 申请(专利权)人: | 西安北方捷瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24 |
代理公司: | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人: | 黄瑞华 |
地址: | 710075 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微弱 应力 检测 装置 | ||
【技术领域】
本实用新型涉及检测技术领域,特别涉及一种微弱应力检测装置。
【背景技术】
目前,公知光学样件应力检测普遍采用偏光计,或偏光计加摄像头进行应力分析。偏光计一般采用白光光源,应用色偏振原理观测样件的不同颜色来区分应力的大小。由于色偏振方法颜色的取值为近似值,所以应力的大小值也为近似值。同时,偏光计采用的光学镜片较多,消除系统本身的色差带来的影响比较困难。另外,偏光计整个系统的体积较大,移动及携带不方便,对样件的定位检测不够灵活。
【实用新型内容】
本实用新型的目的是提供一种微弱应力检测装置,已解决上述技术问题。
为了实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种微弱应力检测装置,包括:线偏振激光器、孔径光阑、位移台、1/4玻片、检偏器、光电接收器和数字显示系统;所述孔径光阑、1/4玻片、检偏器位于线偏振激光器发出的线偏振光的光轴上,所述检偏器依次连接所述光电接收器和数字显示系统。
与现有技术相比,本实用新型具有以下优点:
1、线偏振激光器产生高度稳定的线偏振光,保证整个测试的精度;
2、孔径光阑可以灵活的调整光束半径,可以对样品局部细微应力进行检测;
3、三轴位移台可以使样品上下、左右移动,进行样品不同部位的应力检测。
【附图说明】
图1是本实用新型的结构原理图。
其中:1为线偏振激光器;2为孔径光阑;3为被测样品;4为位移台;5为1/4玻片;6为检偏器;7为光电接收器;8为数字显示系统。
【具体实施方式】
下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述。
请参阅图1所示,线偏振激光器1产生高度稳定的线偏振光,保证整个测试的精度;孔径光阑2可以灵活的调整光束半径,以对局部细微应力进行检测;三轴位移台4可以使样品3上下、左右移动,进行样品3不同部位的应力检测;1/4玻片5使应力造成的椭圆偏振光再次转化为线偏振光,但偏振方向会旋转一定的角度;检偏器6的检偏方向与激光源的偏振方向垂直,如果所测样品无应力,直接得到最小光强值;如果样品存在应力,需旋过一定角度才能获得光强最小值,旋过的角度可以表征应力的大小;光电探测系统7可以记录偏振方向旋过的角度,数显系统8将角度值进行处理后,可以将所测应力值显示。
本实用新型采用高度线偏振的激光光源(可加起偏器),使激光透过检测样品。由于应力双折射效应,线偏振光将变为椭圆偏振光,椭圆偏振光经1/4玻片,再次转化为线偏振光。此时,线偏振光的偏振方向与原偏振光的偏振方向将形成一个角度,角度的大小反映样品应力的大小。后级通过一个检偏器与光电探测系统连接,检偏器的初始偏振方向与激光源的偏振方向相互垂直,检偏器可自动旋转,旋转过程通过光电探测系统可以将光强最小值,及对应的旋转角度进行记录,再通过数字系统的计算最后可将应力值直接显示。如果采用632.8nm波长的光为线偏振光源,以探测器的探测精度为0.1°计算,测试光程的灵敏度为0.3nm,超过目前一个量级,而且激光器端口加入孔径光阑后,还可以通过控制光束的大小检测局部应力的大小。从而,达到快捷准确的定位测试应力的目的。
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