[实用新型]单晶制绒片架压条装置有效
申请号: | 201020603171.0 | 申请日: | 2010-11-11 |
公开(公告)号: | CN201887061U | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 李建飞;祝耀华;于海娇;王守志;李扬 | 申请(专利权)人: | 江阴浚鑫科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C30B33/10 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 214443 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶制绒片架 压条 装置 | ||
技术领域:
本实用新型涉及单晶硅太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种单晶制绒片架压条装置。
背景技术:
单晶硅太阳能电池制造工艺流程第一道工序通常为单晶硅表面织构化,为了得到良好的“金字塔”状的绒面陷光结构,现有已经成熟的方法是利用低浓度的氢氧化钠(氢氧化钾)、IPA(异丙醇)、硅酸钠(硅酸钾)按一定比例形成制绒液,将硅片放入该制绒液中腐蚀以达到制绒的目的。通过硅片制绒,可以有效地增强硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流密度。
常规的硅片制绒工艺实施过程中,需要将硅片放置于专用的制绒片架中,为防止硅片在制绒液中浮起,需要使用压条装置将硅片固定在片架中,这样势必影响压条处制绒液的流动,使压条处硅片的腐蚀速率与周边大不相同,导致硅片制绒后压条处存在明显压条印,进而对后续的PECVD(等离子体增强化学气象淀积)工序造成影响,使硅片对应的压条处形成明显的色斑。为此,现有技术中的常用解决方案为:增加IPA使用量,借助IPA的高挥发性增加溶液的流动性,或者为设备增加鼓泡系统和循环系统来增加制绒液的流动性,以减弱压条印。
然而,现有技术的解决方案中,并没有从根本上解决制绒腐蚀中出现的压条印问题,同时无论是增加IPA用量还是增加鼓泡和循环系统,都增加了单晶硅太阳能电池的成本,不利于大规模的推广和应用。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型申请的目的在于提供单晶制绒片架压条装置,以解决硅片在制绒腐蚀中出现的压条印问题,并无需增加IPA用量或增加鼓泡和循环系统,以降低单晶硅太阳能电池的成本。
为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:
一种单晶制绒片架压条装置,包括:
第一压条;
第二压条,与第一压条相互平行;
第三压条,一端连接在第一压条的中点区域,另一端连接在第二压条的中点区域;
所述第三压条中设置有通孔。
优选的,
第三压条中的通孔设置在第三压条与硅片接触位置相对应的位置。
优选的,
所述第三压条垂直与第一压条和第二压条。
优选的,
所述通孔为圆形,其直径为1毫米至2毫米。
优选的,
所述通孔为正方形,其边长为1毫米至2毫米。
优选的,
所述通孔为椭圆形、正多边形或不规则多边形。
优选的,
所述第三压条中设置有多个不同形状的通孔;
所述通孔为圆形、椭圆形、正多边形或不规则多边形。
优选的,
所述第三压条中设置有多个通孔;
相邻的两个通孔之间的距离相同或不同。
优选的,
所述通孔之间的间距,与硅片接触第三压条的各个位置之间的间距相匹配。
本实用新型实施例提供的单晶制绒片架压条装置中,在压条中设置了通孔,通孔能够疏导压条处制绒液的流动,使压条处制绒液的流动与周边区域相同,进而使硅片压条处的腐蚀速率与其它区域相同,避免了硅片上压条印的形成,进而解决了硅片在PECVD制程中产生色斑的缺陷。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术中的单晶制绒片架压条装置结构示意图;
图2为本实用新型实施例一提供的单晶制绒片架压条装置结构示意图;
图3为本实用新型实施例二提供的单晶制绒片架压条装置结构示意图。
具体实施方式
现有技术中的单晶硅太阳能电池生产过程中,在制绒步骤中容易出现硅片压条处存在明显压条印,使后续制程中硅片的压条处形成明显的色斑。其一种解决方法是增加IPA用量或增加鼓泡和循环系统,但这种方案会增加单晶硅太阳能电池的成本,不利于大规模的推广和应用。
为此,本实用新型实施例提供了一种单晶制绒片架压条装置,包括:第一压条;第二压条,与第一压条相互平行;第三压条,一端连接在第一压条的中点区域,另一端连接在第二压条的中点区域;所述第三压条中设置有通孔。
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