[实用新型]一种三氯硅烷合成装置用的硅粉分配器无效
申请号: | 201020604445.8 | 申请日: | 2010-11-13 |
公开(公告)号: | CN201914923U | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 李海军;吴卫星;浦全富;陈文明;张文华;张治;杨洲;陈其顺;孙银祥;杜翔;尚其伟 | 申请(专利权)人: | 宁夏阳光硅业有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人: | 叶学军 |
地址: | 753202 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅烷 合成 装置 分配器 | ||
【权利要求书】:
1.一种三氯硅烷合成装置用的硅粉分配器,包括有通孔的锥面部件和固定所述锥面部件的加固环,所述硅粉分配器被安装在三氯硅烷合成装置反应室的硅粉进料口的下方,其锥顶朝上。
2.权利要求1所述的硅粉分配器,其特征在于所述的通孔直径为10~20mm。
3.权利要求1所述的硅粉分配器,其特征在于所述的锥面为圆锥面,其锥顶角度为70度~120度。
4.权利要求1所述的硅粉分配器,其特征在于圆锥面锥底直径小于三氯硅烷合成装置反应室内径约10~30cm。
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