[实用新型]一种扩散炉有害气体监护装置有效
| 申请号： | 201020605670.3 | 申请日： | 2010-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN201946090U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 伍波;张勇;李果山 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G08B21/14 | 分类号： | G08B21/14 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 有害 气体 监护 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散炉有害气体监测装置，其特征在于：所述扩散炉有害气体监测装置包括一收集有害气体的探头，所述探头通过一气管连接有一监测有害气体泄露量的监测器，所述监测器连接有一报警器；当监测器监测到探头收集的有害气体泄露量超过设定值时，监测器向报警器发送一报警信号，所述报警器接到所述报警信号后报警。
2.根据权利要求1所述的扩散炉有害气体监测装置，其特征在于：所述监测器为三氯氧磷监测器、偏磷酸监测器或盐酸监测器。
3.根据权利要求1所述的扩散炉有害气体监测装置，其特征在于：所述报警器包括一报警灯和蜂鸣器。
4.根据权利要求1所述的扩散炉有害气体监测装置，其特征在于：所述气管由PFA材料制成。
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