[实用新型]可调式扩散炉结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种扩散炉，尤指一种可调式扩散炉结构。

背景技术

一般生产CIGS薄膜太阳电池，首先会将一个钼(moly)基底电接触层沉积于一个基材上(例如：玻璃、不锈钢或其它功能性基材材料)。而后，将一个相关厚度的CIGS层沉积于该钼(moly)层上。于该技术中，首先会使用一种物理气向沉积(PVD)制程(即挥发或溅镀)、化学镀浴、或电镀制程，将这些金属(Cu/In/Ga)沉积于基材上。接续地，于一扩散炉中，一种具有硒的气体，会于一个高达大约500至600℃的温度下，与该金属层反应，以此形成最终的CIGS组成物。

习知扩散炉设置有内炉膛，内炉膛以耐火砖支撑固定的设置于外炉膛内，内炉膛本身并无法进行调整，因此只能利用设于外炉膛外部的金属领圈来调整内炉膛，造成内炉膛调整作业的不便，且内炉膛一般需进行X轴、Y轴、Z轴、倾角及旋转等多种调整，全部依赖金属领圈来调整，难免造成作业上的不便。

因此，本创作人提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本实用新型。

发明内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种可调式扩散炉结构，可便利于内炉膛的调整作业。

本实用新型实施例提供一种可调式扩散炉结构，包括：一外炉膛；一内炉膛，该内炉膛设置于该外炉膛内，该内炉膛内部形成有一炉腔；多个红外线加热器，所述多个红外线加热器设置于该外炉膛上；以及两个升降调整装置，所述两个升降调整装置设置于该外炉膛内，该内炉膛以所述两个升降调整装置支撑设置于该外炉膛内。

其中，所述两个升降调整装置沿该外炉膛纵向间隔的设置于该外炉膛内。

其中，每一升降调整装置具有一本体、一承载件及一螺杆，该本体固定于该外炉膛，该螺杆上端连接于该承载件，该螺杆螺接于该本体，该螺杆上螺接有锁固件，该内炉膛设置于该承载件上。

其中，该承载件与该内炉膛之间设置有垫体。

其中，该内炉膛为石英管。

其中，该内炉膛至少一端形成有开口，该开口配置有一金属领圈。

其中，所述多个红外线加热器分别以电热丝设于石英管内所构成，该电热丝连接有电线。

其中，所述多个红外线加热器分别具有加热段及连接于该加热段的固定段，所述多个红外线加热器的加热段位于该外炉膛内，所述多个红外线加热器的固定段固定于该外炉膛外。

其中，所述多个红外线加热器的固定段分别以固定装置予以固定。

其中，所述多个红外线加热器区分为多个加热组，所述多个加热组分别电性连接于一功率分配卡，所述多个加热组设有控温点，所述多个功率分配卡电性连接于一控制器，以电控方式动态的调整所述多个加热组的功率分配。

本实用新型实施例还提供一种可调式扩散炉结构，包括：一外炉膛；一内炉膛，该内炉膛设置于该外炉膛内，该内炉膛内部形成有一炉腔；多个加热器，所述多个加热器设置于该外炉膛上；以及两个升降调整装置，所述两个升降调整装置设置于该外炉膛内，该内炉膛以所述两个升降调整装置支撑设置于该外炉膛内。

本实用新型具有以下有益的效果：

本实用新型内炉膛以两个升降调整装置支撑设置于外炉膛内，可利用两个升降调整装置对内炉膛进行Z轴及倾角的调整，因此不需全部依赖金属领圈来进行内炉膛的调整，使得内炉膛的调整作业较为方便。

为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明，并非用来对本实用新型加以限制。

附图说明

图1为本实用新型可调式扩散炉结构的立体示意图。

图2为本实用新型可调式扩散炉结构局部构造的立体示意图。

图3本实用新型可调式扩散炉结构的剖视示意图。

图4为本实用新型红外线加热器的立体示意图。

图5为本实用新型加热组的控制方块示意图。

图6本实用新型升降调整装置调整的示意图。

其中，附图标记说明如下：

1外炉膛

11脚架

2内炉膛

21炉腔

22开口

23金属领圈

24升降调整装置

241本体

242承载件

243螺杆

244锁固件

245垫体

3红外线加热器

31电热丝

32石英管

33电线

3a加热段

3b固定段

4固定装置

41夹持件

42固定件

43支架

5冷却管路

6加热组