[实用新型]一种抽真空装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种抽真空装置，尤其涉及一种具有多级并联的抽真空泵的抽真空装置。

背景技术

目前，镁热还原四氯化钛是工艺化生产海绵钛的唯一方法，其基本原理是：金属镁在密闭容器中与加入的四氯化钛发生还原反应，生成金属钛。还原反应结束后，所得的产物含Ti 55%～60%、Mg 25%～30%、MgCl 28%～12%,利用真空蒸馏法分离除去反应器中的金属镁、氯化镁，从而获得海绵钛产品。蒸馏真空系统是镁法生产海绵钛蒸馏工序分离除去Mg及MgCl₂的关键设备。

真空蒸馏是利用被分离物的某些物理特性的差异，在高温、高真空情况达到分离净化目的的一种方法。在采用常压蒸馏时，MgCl₂比Mg的沸点高，在这种情况下，蒸馏温度必须达到MgCl₂的沸点(1418℃)。可是这样高的温度下，海绵钛与铁壁易生成Ti-Fe合金，而污染产品；同时Mg和MgCl₂分离也不易完全。而在真空条件下，还原产物各沸点相应地下降，如真空度达10Pa时，Mg和MgCl₂的沸腾温度分别降至516℃和677℃。同时，Mg和MgCl₂的挥发速度较常压下也得到了大大的提高，这就可以采用比较低的蒸馏温度。在低的蒸馏温度下还可减少铁壁对海绵钛的污染。

可见采用高温是为了提高物质的挥发速度，缩短分离时间；采用高真空是为了降低物质的沸点，使分离过程能在较低的温度下进行。

现有的抽真空装置一般采用滑阀真空泵＋油扩散泵或油增扩真空泵。进入蒸馏初期，使用滑阀真空泵抽低真空。中后期启动油扩散泵进入高真空阶段，进行高真空蒸馏，更好的分离除去反应器中的金属镁和氯化镁。

但是由于油扩散泵的临界前级压力一般在35～70 Pa左右，而滑阀泵需在100 Pa以上才能达到最大抽速，中间没有增压泵，因此，前级泵不能工作在最佳状态。生产实践表明，该机组最高在1Pa左右。

这种真空系统配置在高真空主泵工作压力衔接上，特别是在10～10-1 Pa，油扩散泵和油封机械泵抽气能力下降的中间区域，大多数的油扩散泵在此范围内抽速很小；而滑阀泵工作极限真空为1Pa以上才能达到工作抽速，100Pa以上才能达到最佳的工作抽速。因此在100～10-1 Pa之间抽气性能较差，滑阀泵的性能没有得到有效的发挥，系统真空度低。

而恰恰在100～10-1 Pa的前级临界压力范围内，中间增压泵（罗茨真空泵）具有较大的抽速，可以有效的改善油扩散泵、滑阀泵的使用效率，提高系统真空度。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种具有多级并联的抽真空泵的抽真空装置。

上述目的是通过下述方案实现的：

本实用新型的一种抽真空装置，其特征在于，所述抽真空装置包括一级抽真空装置、二级抽真空装置和三级抽真空装置，并且所述一级抽真空装置、二级抽真空装置和三级抽真空装置为并联连接。

根据上述抽真空装置，其特征在于，所述一级抽真空装置包括水环式真空泵。

根据上述抽真空装置，其特征在于，所述二级抽真空装置包括两台并联的机械真空泵。

根据上述抽真空装置，其特征在于，所述三级抽真空装置包括串联的真空气动挡板阀、油扩散泵和旋片泵。

根据上述抽真空装置，其特征在于，所述抽真空装置还包括增压泵，所述增压泵的进气口分别与所述油扩散泵的出气管和所述二级抽真空装置的进气管连接，所述增压泵的出气口与所述二级抽真空装置串联。

根据上述抽真空装置，其特征在于，在各个泵的进气管上均安装有阀门。

根据上述抽真空装置，其特征在于，所述增压泵为罗茨真空泵，所述机械真空泵为滑阀泵。

倒U型联合炉采用本实用新型的抽真空装置后，蒸馏真空系统的真空度可达0.067Pa，达到10^-2Pa以上，对镁和氯化镁等杂质在蒸馏过程中分离更彻底具有重要作用，可以大大提高海绵钛产品质量，降低生产成本。

附图说明

图1是本实用新型的抽真空装置的结构示意图。

具体实施方式

参见图1，本实用新型的一种抽真空装置包括，所述抽真空装置包括一级抽真空装置、二级抽真空装置和三级抽真空装置，并且一级抽真空装置、二级抽真空装置和三级抽真空装置为并联连接。