[实用新型]镍磷合金衍射光学模芯

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种制造衍射光学元件的模芯，特别是可以注射成型方式重复加工制造衍射光学元件的模芯。

背景技术

许多光学元件，如各种光学镜片，特别是各种衍射光学元件等，其制做都是通过相互配合使用的模芯制造得到的。目前常用的由铍铜、高纯铝、不锈钢等直接制做的模芯，其模芯的光学端面表面实际上都有较多的微细孔隙，导致模芯表面的光洁度差，限制了光学元件质量的提高，而且模芯表面光学级面形在高温高压条件下易变形、磨损。在201020288305.4号中国专利申请中，本发明人提出了一种带镍磷合金镀层结构的光学级模芯，该镍磷合金镀层结构的表面面形无孔隙缺陷，表面光洁度能达到美军标60/40标准，硬度可高300kg/mm²-600kg/mm²，且在高温/高压条件下不变形，且使用寿命长，有利于提高所制做光学元件的质量，还可保证进一步切削加工的补偿。

实用新型内容

针对现有技术中的问题，本申请将提供一种镍磷合金衍射光学模芯，可用于以注射成型方式大批量加工制造出一致性好和高精度的衍射光学部件。

本实用新型镍磷合金衍射光学模芯，其结构是在模芯体上被覆有镍磷合金镀层结构的有效通光口径表面上，设有衍射沟槽结构。该衍射沟槽结构可以通过天然金刚石车削技术在镍磷合金镀层结构的光学端面表面超精密加工而成。

上述模芯镍磷合金镀层结构表面上的衍射沟槽深度d，一般情况下可为≤1微米；衍射周期范围一般可为c =0.0207274117~2.777262863毫米。

本实用新型上述结构形式光学模芯中，所说该被覆有镍磷合金镀层结构的有效通光口径表面形态，可以为平面面形、凸面面形、凹面面形中的任一种，以适用于制造多种形式的光学部件。其中，当其有效通光口径表面形态为凸面面形或凹面面形时，优选的是其外周缘所在水平面与曲面顶点间距离的氏高值≤20mm。

由于单晶天然金刚石具有非常坚硬而尖锐光滑的尖端，因此采用金刚石刀具的金刚石车削工艺，可以在上述被覆有坚硬致密的镍磷合金镀层结构表面，超精密加工出各种光学级用于成像作用的衍射光学微结构。并且能够快速重复地加工高精度的复杂面形的光学零件，在加工光学表面的同时，还可以加工出高精确的定位面。因此，本实用新型上述形式的模芯能够实现以注射成型方式大批量地制造出一致性好且高精度的衍射光学部件。

以下结合由附图所示实施例的具体实施方式，对本实用新型的上述内容再作进一步的详细说明。但不应将此理解为本实用新型上述主题的范围仅限于以下的实例。在不脱离本实用新型上述技术思想情况下，根据本领域普通技术知识和惯用手段做出的各种替换或变更，均应包括在本实用新型的范围内。

附图说明

图1是本实用新型镍磷合金衍射光学模芯的一种结构示意图。

图2是图1中局部A的放大结构示意图。

具体实施方式

如图所示的本实用新型镍磷合金衍射光学模芯，是一种有效通光口径为凹面面形模芯，在模芯体1上被覆有镍磷合金镀层结构2的有效通光口径表面上，设有衍射沟槽结构3。衍射沟槽结构3的深度d≤1微米，其衍射周期c =0.02072741117~2.777262863毫米。其有效通光口径外周缘所在水平面与凹面顶点间距离的氏高值≤20mm。