[实用新型]一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉热门装置无效
申请号: | 201020613225.1 | 申请日: | 2010-11-18 |
公开(公告)号: | CN201883183U | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 徐寒;丁红波;张建;管文礼;管宇骎;王琪 | 申请(专利权)人: | 管悦 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B11/00 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 王彦明 |
地址: | 222000 江苏省连云*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有效 控制 多晶 铸锭 热门 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种,特别是一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉热门装置。
背景技术
多晶硅铸锭炉是将硅原料经过加热、长晶、退火等工艺使硅定向凝固,其关键技术之一在于硅熔体长晶时通过热门装置控制热场的温度梯度。目前有采用热门式:这种热门只存在全开和全关两种状态,当结晶时热门全开,造成热量损失过大,且底部温度突然下降,造成多晶硅的晶核排列的方向性不好,导致产品的光电转换效率低;另一种是采用提升隔热笼式:这种通过提升隔热笼方式控制热场的温度梯度,由于隔热笼提升后,硅熔体容器的四周有冷热量的能量交换,不利于晶体的定向生长,同时热量从隔热笼底部的四周间隙流失,造成热量损失。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提出了一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉热门装置。通过改变热门开度的大小控制热场的温度梯度,有效的减少硅熔体容器的四周有冷热量的能量交换,有利于晶体单向生长,同时有效的减少热量从硅熔体容器的四周流失,提高节能效果。
本实用新型要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的,一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉热门装置,其特点是:所述的热门设有上层热门和下层热门,在热门下方设有十字形的导轨,热门的外端连接有连杆销,连杆销的下端滑动的装在上述导轨内,与十字形导轨的交叉点同心的设置有个转盘,所述连杆销与转盘之间设有拉杆,拉杆的两端分别与连杆销和转盘铰接。
本实用新型要解决的技术问题还可以通过以下技术方案来进一步实现,上层热门设有对开的两扇、下层热门同样设有对开的两扇,四扇门对应的四个连杆销分别装在十字形导轨的四条导轨臂上,与连杆销铰接的四根拉杆与所述转盘上对称设置的四个铰接点铰接。
本实用新型要解决的技术问题还可以通过以下技术方案来进一步实现,上层热门与下层热门都为单扇,两扇门设置为对开结构,两扇门对应的两个连杆销对称的装在两条导轨臂上,与连杆销铰接的两根拉杆与所述转盘上对称设置的两个铰接点铰接。
本实用新型要解决的技术问题还可以通过以下技术方案来进一步实现,转盘上对称的开有两个避免与连接水管干涉的弧形槽。
硅料在铸锭过程中经高温熔化后,需要降温来有效地控制热场的温度梯度实现硅定向凝固,保证晶核排列的同一性。本实用新型与现有技术相比,设有上下两道热门,并通过曲柄连杆机构实现同步对开。在结晶阶段需降温时,由控制系统驱动电机带动曲柄连杆,控制热门的开度大小。能精确控制热门的开启程度,控制长晶速度并使热场形成温度梯度,确保硅晶体的定向凝固与生长,具有结构简单,安全可靠,精确控制和节能等特点。
附图说明
图1为本实用新型的结构简图。
图2为图1的A—A向剖视图。
具体实施方式
一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉热门装置,包括热门,热门上方为高温区,设有换热板3,热门下方设有热交换器5,所述的热门设有上层热门2和下层热门4,在热门下方设有十字形的导轨9,热门的外端连接有连杆销1,连杆销1的下端滑动的装在上述导轨9内,与十字形导轨9的交叉点同心的设置有个转盘7,所述连杆销1与转盘7之间设有拉杆8,拉杆8的两端分别与连杆销1和转盘7铰接。转盘7上对称的开有两个避免与连接水管6干涉的弧形槽10。
上层热门2设有对开的两扇、下层热门4同样设有对开的两扇,四扇门对应的四个连杆销分别装在十字形导轨的四条导轨臂上,与连杆销铰接的四根拉杆与所述转盘上对称设置的四个铰接点铰接。
上层热门2与下层热门4都为单扇,两扇门设置为对开结构,两扇门对应的两个连杆销对称的装在两条导轨臂上,与连杆销铰接的两根拉杆与所述转盘上对称设置的两个铰接点铰接。
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