[实用新型]具有翻转芯片功能的芯片吸取装置有效
申请号: | 201020615439.2 | 申请日: | 2010-11-19 |
公开(公告)号: | CN201887034U | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 尹周平;蔡伟林;付宇;王瑜辉;熊有伦 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/68 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 翻转 芯片 功能 吸取 装置 | ||
1.一种具有翻转芯片功能的芯片吸取装置,包括Z向高度调节与支撑机构、翻转驱动机构和芯片吸取机构,Z向高度调节与支撑机构为整个装置的基座,并用于将芯片吸取机构移动到适宜高度,翻转驱动机构驱动芯片吸取机构旋转,其特征在于,所述芯片吸取机构包括直线导向运动部件(36)和设在其底端的芯片吸取元件(37),所述直线导向运动部件(36)包括直线运动部件安装座(361)、直线导向轴(363)、直线轴承(364)、弹簧(365)、空心转接件(366)和气管连接件(367),直线运动部件安装座(361)固定连接翻转驱动机构,直线运动部件安装座(361)内嵌有直线轴承(364)和弹簧(365),直线导向轴(363)从上往下依次穿过直线轴承(364)和弹簧(365)连接空心转接件(366)的一端,空心转接件(366)的另一端连接芯片吸取元件(37),空心转接件(366)的侧壁连接气管连接件(367),空心转接件(366)和芯片吸取元件(37)间的通孔构成真空通道,并与气管连接件(367)相连通。
2.根据权利要求1所述的具有翻转芯片功能的芯片吸取装置,其特征在于,所述翻转驱动机构包括伺服电机(21)、减速器(22)、传感器(23)、传感器触发板(31)和旋转臂(32);伺服电机(21)输出轴内嵌于减速器(22)内,减速器(22)的输出轴上套有旋转臂(32),传感器触发板(31)套在旋转臂(32)的外圆表面,传感器触发板(31)的外圆周安放有位置传感器(23),旋转臂(32)连接所述直线运动部件安装座(361)。
3.根据权利要求1所述的具有翻转芯片功能的芯片吸取装置,其特征在于,所述Z向高度调节与支撑机构包括安装底板(11)、Z向调节平台(12)、L型转接板(13),Z向调节平台(12)一侧面固定在安装底板(11)上,另外一侧面与L型转接板(13)固连,L型转接板(13)连接所述翻转驱动机构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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