[实用新型]硅棒加工用轮刷无效
申请号: | 201020615769.1 | 申请日: | 2010-11-11 |
公开(公告)号: | CN201970180U | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 林德元 | 申请(专利权)人: | 宁波佳博刷业有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22 |
代理公司: | 宁波天一专利代理有限公司 33207 | 代理人: | 张莉华 |
地址: | 315600 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅棒加 工用 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种刷子,特别是一种用于加工硅棒使其表面光洁度高,减少下道工序切片制作硅片的报废率使用的硅棒加工用轮刷。
背景技术
随着经济的蓬勃发展,人们生活水平的提高,人们对赖以生存的空间和环境的要求也越来越高,需要低碳生活环境,使用无污染的能源,为此有关太阳能能源的开发利用的专利也应运而生。
单(多)硅晶片是太阳能行业上使用的重要、关键原料,硅晶片的生产原材料主要为单晶硅棒或多晶硅锭经开方——磨面——滚圆(倒角)——端面——多线切片,上述加工工序中还需对硅棒的表面作抛光去毛刺处理,磨面和滚圆所用工具就是磨头(毛刷),仅对硅块表面进行研磨精加工,并且要求硅棒表面的加工越光滑越好,否则会发生用硅棒作切片加工时硅片因周边蹦边、碎裂报废的现象,而且报废率还很高,造成很大的经济损失。
若硅棒的截面为矩形不需剖方,但同样需进行表面处理,使其表面光洁度达到切片的要求。
但现市场上销售、使用的用于处理硅棒表面光洁度的轮刷,仅由用胶水固化固定在金属盘周边上的环形刷毛构成,不仅连接不牢靠刷毛还易脱落,在高速运转时若冷却水压力不稳定还会造成刷毛结块的现象,而轮刷质量的好坏将直接影响加工产品硅片的加工质量和成品率。
专利号200710040834.5“用于清洗硅片的刷片头”能有效提高硅片表面颗粒的去除率,减少停留于刷子毛间的颗粒对硅片表面产生的划伤和二次沾污,但此专利也未公开所使用刷片头的结构。
专利申请号200910095528.0“一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法”,仅提到用抛光设备对太阳能级单晶硅棒表面进行机械打磨抛光,但也未公开所用具体的抛光设备。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种硅棒加工用轮刷,其结构简单易制作,而且刷毛不会结块、不易脱落,能提高产品的加工质量和加工档次,延长使用寿命,降低使用成本。
本实用新型解决上述问题所采用的技术方案:硅棒加工用轮刷,包括固定在带有进水孔的底盘上的刷毛,所述刷毛通过胶水和胶体层固化成整体,所述刷毛被分割成有间隙槽的刷毛块,所述刷毛块外周边还有和刷毛块固化成整体的箍带,所述胶体层与所述底盘固定成整体,所述底盘上的进水孔和刷毛块一一对应。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:1、因将刷毛分割成均布的刷毛块,各刷毛块间留有间隙槽,冷却水可流入到刷毛中间,因此渗透效果好、降温快、刷毛又不易结块,同时冷却水只能沿着间隙槽为导向集中定向流动,直到刷毛块的工作端面上,除降温效果好外,还因每个进水孔都对应一个刷毛块,水程短、水压大、分布均匀,能及时冲刷掉抛光所产生的污物或颗粒,刷毛块上的污垢,避免二次污染和划伤硅棒的表面,提高硅块的表面光洁度,具有镜面抛光功能,表面粗糙度可达Ra0.1μm~Ra0.04μm;
2、在刷毛块的外表面上打箍,保证刷毛在高速转动时刷毛不倒伏、不松散开始终成束状,因此抛光去毛刺效果好,可修正硅块在开方加工时表面上产生的显微裂纹,大大的减少了在后工序切片中产生蹦边,同时可对原硅锭的四边平面垂直度起到修正作用,确保硅锭四面及棱边的损伤层有效去除,也不会将硅棒的边棱抛洗掉,若将硅棒的边棱抛掉即造成硅棒的塌角,而由有塌角的硅棒切片加工硅片只能是B级产品,仅能使用在民用产品或要求不高的地方,否则为A级产品用在军工和要求高、重要的地方使用,因此可提高加工硅片的成品率和档次;
3、刷毛块是直接固定在由胶水构成的胶体层内,不会松散、不受外界影响,并胶体层用预埋螺母和螺钉固定在金属底盘上,因此刷毛块为双重固定,连接牢靠,刷毛不易脱落,延长了使用寿命,降低了生产成本;
4、金属底盘的下表面上还加工有环凹槽导向槽,环凹槽的两侧壁分别为向外、向内倾斜并平行的弧面,便于冷却水沿轮刷转动的切线方向上的导向槽进入轮刷内部,充分集中利用了冷却水的压力冲洗刷毛块和工作面,并减少冷却水的用量节约使用成本。
附图说明
图1、本实用新型的结构示意图。
图2、图1的俯视图。
图3、本实用新型的结构剖示图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步描述:
底盘4为中间有通孔的金属圆盘,周边有安装用的均布的沉头通孔,上端面边缘有内止口,下端面上有一环凹槽为导向槽5,环凹槽的底面上有均布的进水孔6,导向槽的两侧壁为分别向内、向外倾斜一角度并平行的斜弧面。
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