[实用新型]一种应用于靶材钎焊的加热系统

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种加热系统，尤其涉及一种应用于靶材钎焊的加热系统。

【背景技术】

近年来，应用于真空溅射镀膜的磁控溅射靶材使用量迅速加大，技术要求也在不断提高，尤其在大面积镀膜产业兴起后，平面靶材的长宽尺寸达到1.7×1.4米甚至更大，将脆性较大的或者强硬度不高的材料制作成靶材后，为保证其运输或者使用过程中不开裂或者变形，避免靶材与冷却水直接接触，往往需要运用到钎焊技术，利用钎料将靶材的非溅射面与基板黏合在一起，在黏合的过程中需要先将靶材与基板同时缓慢均匀的加热到200℃左右，才可进行靶材与基板的钎焊黏合作业，这就需要用到面积为靶材长宽尺寸两倍大小的大型加热平台对靶材与基板表面进行同时加热，且为达到良好的钎焊黏合效果，要求大型加热平台温度均匀，要求工作区域各点温差控制在5℃以内。

现有应用于大型靶材钎焊的加热系统，一般含有一支撑架、一放置于支撑架上的加热平台、一用于直接加热加热平台的加热平板和一用于测定加热平台温度的测温仪，而现有的加热平板一般为电阻加热器，其是由多个电阻加热元件发热并以直接接触的方式加热加热平台，对于加热平面6平方米左右的加热平台，因各电阻加热元件的发热效率并不完全一致，从而导致加热平台受热不均而造成较大的温差，直接影响了大型靶材钎焊的效果；另外，为了能够更准确的测定加热平板内电阻元件产热的温度，往往需要增加测温点，进而根据测温点测量的数值来调整不同区域电阻元件的加热速率，但为保证加热平台完整的工作平面，测温探头无法安装在加热平板上表面，而安装在其下表面则无法测量出较为真实的工作温度，只能安装在加热平板的侧边位置，这样只能取得加热平板边缘位置的温度，无法取得加热平板中心区域的实际温度，而如果采用分区域加热温控系统，不仅设计复杂、造价较高，且加热元件易损、更换困难，另外，表面温差可能达到20～30℃，为达到较均匀的温度，需要长时间恒温，耗能较大，对于一些大型平面钎焊行业，要求加热平台温差控制在5℃以内，显然采用电阻加热元件直接加热无法达到使用要求，并且难以实现对工作面及加热平台进行快速升温降温的控制或者缓慢升温降温的控制。

【实用新型内容】

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种应用于靶材钎焊的加热系统，不仅便于测量加热平板内的温度，而且能够使加热平板对加热平台较为均匀的加热，使加热平台的温差小。

本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的：一种应用于靶材钎焊的加热系统，包括一支撑架、一置于支撑架上的加热平板、一覆盖于加热平板上表面的加热平台、一导热油加热器和一测温仪，所述加热平板内设有一反向并行设置的双通道，所述双通道的各通道分别含有一进油口和一回油口，且其中一通道的进油口与另一通道的回油口设于双通道的同一端，所述进油口和回油口均与导热油加热器连接，所述测温仪设于回油口处。

进一步地，该加热系统还包括一包裹于加热平板下表面及各侧壁的保温层，且该保温层设于支撑架上。

进一步地，所述双通道的各通道均由复数个首尾相接的“S”形凹槽组成。

进一步地，该加热系统还包括一用于盛装冷却导热油的副油箱，所述副油箱与导热油加热器连接。

进一步地，所述加热平台为铝平板。

本实用新型一种应用于靶材钎焊的加热系统的有益效果在于：

1、通过导热油加热器将导热油注入加热平板内反向并行设置的双通道内，能够使加热平板整体产热均匀，从而使加热平台受热均匀、温差小；并通过温控仪监测加热平板回油口的导热油的油温来测定加热平板内的温度；另外，通过设置导热油加热器的加热温度及升温速率来有效的控制加热平板内的温度；

2、增设盛装冷却导热油的副油箱，能够在加热平板需要快速冷却时，往停止加热的导热油加热器内通入冷却的导热油，进而实现对加热平板及加热平台进行降温的控制。

3、在加热平板下表面及各侧壁的包裹上一保温层，能够起到避免加热平板内的热量流失，使热量得到有效的利用。

【附图说明】

下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的描述。

图1是本实用新型一种应用于靶材钎焊的加热系统的分解示意图。

图2是本实用新型中加热平板内双通道的示意图。

【具体实施方式】