[实用新型]无卡匣的太阳能电池反应槽及化学水浴沉积系统

权利要求书

1.一种无卡匣的太阳能电池反应槽，包含：

多个本体，每一该本体包含：

一对第一槽壁，该对第一槽壁相互对应；

一对第二槽壁，该对第二槽壁相互对应且该第二槽壁与该对第一槽壁连接，该第二槽壁宽度小于该第一槽壁宽度；以及

一底面，该底面分别连接该第一槽壁及该第二槽壁而形成一凹槽。

2.如权利要求1所述的太阳能电池反应槽，其特征在于，该底面包含一斜面及一液体输送孔，该斜面底部连通于该液体输送孔。

3.如权利要求1所述的太阳能电池反应槽，其特征在于，该底面形成漏斗状。

4.如权利要求2所述的太阳能电池反应槽，其特征在于，该太阳能电池反应槽进一步包含一液体循环通道，该液体循环通道连通该液体输送孔。

5.如权利要求4所述的太阳能电池反应槽，其特征在于，该太阳能电池反应槽还进一步包含用以控制该液体循环通道中的液体含量的一液体排出阀。

6.如权利要求1所述的太阳能电池反应槽，其特征在于，该太阳能电池反应槽进一步包含用以感测该凹槽容置液体的pH值的一pH值传感器。

7.如权利要求1所述的太阳能电池反应槽，其特征在于，该太阳能电池反应槽进一步包含用以加热该凹槽容置液体的一加热器。

8.如权利要求1所述的太阳能电池反应槽，其特征在于，该太阳能电池反应槽进一步包含用以量测该凹槽容置液体的流量的一流量计。

9.一种无卡匣的太阳能电池的化学水浴沉积系统，该化学水浴沉积系统包含：

一太阳能电池反应槽，用以化学沉积一反应物质于一太阳能电池半成品基板的一第一面及一第二面，该太阳能电池反应槽包含：

多个本体，每一该本体包含：

一对第一槽壁，该对第一槽壁相互对应；

一对第二槽壁，该对第二槽壁相互对应且该第二槽壁与该对第一槽壁连接，该第二槽壁宽度小于该第一槽壁宽度；以及

一底面，该底面分别连接该第一槽壁及该第二槽壁而形成一凹槽；以及

一清除装置，用以除去该第二面的该反应物质。

10.如权利要求9所述的化学水浴沉积系统，其特征在于，该底面包含一斜面及一液体输送孔，该斜面底部连通于该液体输送孔。

11.如权利要求9所述的化学水浴沉积系统，其特征在于，该底面形成漏斗状。

12.如权利要求10所述的化学水浴沉积系统，其特征在于，该化学水浴沉积系统进一步包含一液体循环通道，该液体循环通道连通该液体输送孔。

13.如权利要求12所述的化学水浴沉积系统，其特征在于，该化学水浴沉积系统还进一步包含用以控制该液体循环通道中的液体含量的一液体排出阀。

14.如权利要求9所述的化学水浴沉积系统，其特征在于，该化学水浴沉积系统进一步包含用以感测该凹槽容置液体的pH值的一pH值传感器。

15.如权利要求9所述的化学水浴沉积系统，其特征在于，该化学水浴沉积系统进一步包含用以加热该凹槽容置液体的一加热器。

16.如权利要求9所述的化学水浴沉积系统，其特征在于，该化学水浴沉积系统进一步包含用以量测该凹槽容置液体的流量的一流量计。

17.如权利要求9所述的化学水浴沉积系统，其特征在于，该清除装置包含一毛刷装置。