[实用新型]用于籽晶传动装置的调节平台

说明书

技术领域

本发明属于真空设备技术领域，特别是涉及一种用于籽晶传动装置的调节平台。

技术背景

目前，公知的单晶炉设备在籽晶杆的精度调节功能上，在安装时调整对中后，以后基本不再调节，如若再调节既无法做到时时微调，也不能在工作状态下作出调整，且操作也不方便灵活。

发明内容

针对上述存在的技术问题，解决籽晶轴的精度调节的问题，本发明提供一种用于籽晶传动装置的调节平台，它结构紧凑，操作方便。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

本发明包括滑台板、滑台、滑台座、固定支架、X轴调节机构、Y轴调节机构、第一滑轨滑块组件、第二滑轨滑块组件及与滑台连接的锁紧机构，所述滑台板、滑台、滑台座、固定支架均带有内孔，并依次套装于籽晶轴上，滑台座固定在固定支架上，在滑台座和滑台间、滑台和滑台板间分别安装有第一、第二滑轨滑块组件，滑台沿滑台座、滑台板沿滑台分别相对滑动，滑台板与籽晶轴固定连接，在滑台和滑台板间的X轴方向上设有X轴调节机构，在滑台和滑台座的Y轴方向上设有Y轴调节机构。

所述的X轴调节机构包括第一微分头和第一调节板，第一微分头通过固定在滑台板上的第一调节板与滑台端部连接。所述的Y轴调节机构包括第二微分头和第二调节板，第二微分头通过固定在滑台座上的第二调节板与滑台端部连接。所述的锁紧机构包括第一、第二调节螺钉，第一调节螺钉通过滑台座连接在滑台上，第二调节螺钉通过滑台板连接在滑台上。

本发明的有益效果是：

本发明在籽晶轴的二维精度调节功能上，采用了双导轨及滑块，使其运动灵活，X轴、Y轴调节机构采用微分头调节，不但使其操作更加方便，且实现了微调、精调，使籽晶轴的调节精度更佳。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图中：1.籽晶轴，2.滑台板，3.第一调节板，4.第一微分头，5.滑台，6.第一滑块，7.第一线性滑轨，8.滑台座，9.固定支架，10.第一调节螺钉，11.第二调节板，12.第二滑块，13.第二调节螺钉，14.第二微分头，15.第二线性滑轨。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

实施例：如图1所示，本发明包括滑台板2、滑台5、滑台座8、固定支架9、X轴调节机构、Y轴调节机构、第一滑轨滑块组件、第二滑轨滑块组件及与滑台5连接的锁紧机构，所述滑台板2、滑台5、滑台座8、固定支架9均带有内孔，并依次套装于籽晶轴1上，滑台座8固定在固定支架9上，在滑台座8和滑台5间、滑台5和滑台板2间分别安装有第一、第二滑轨滑块组件，即：在滑台座8和滑台5同侧分别安装第一、第二线性滑轨7、15，与其相对滑动的第一、第二滑块6、12分别安装在滑台5和滑台板2上，使滑台5沿滑台座8、滑台板2沿滑台5分别相对滑动，滑台板2与籽晶轴1固定连接，在滑台5和滑台板2间的X轴方向上设有X轴调节机构，在滑台5和滑台座8的Y轴方向上设有Y轴调节机构。

本例所述的X轴调节机构包括第一微分头4和第一调节板3，第一微分头4通过固定在滑台板2上的第一调节板3与滑台5端部连接。所述的Y轴调节机构包括第二微分头14和第二调节板11，第二微分头14通过固定在滑台座8上的第二调节板11与滑台5端部连接。所述的锁紧机构包括第一、第二调节螺钉10、13，第一调节螺钉10通过滑台座8连接在滑台5上，第二调节螺钉13通过滑台板2连接在滑台5上。

本发明的工作过程：

本发明通过调节第一调节板3处的第一微分头4，可实现(本发明)机构X方向的精度调节，通过调节第二调节板11处的第二微分头14，可实现机构Y方向的精度调节；当调节完成后，调节第一调节螺钉10和第二调节螺钉13锁紧滑台5，将滑台5及滑台板2锁死。