[实用新型]用于化学气相淀积工艺的真空除尘系统

权利要求书

1.用于化学气相淀积工艺的真空除尘系统，其特征是，包括位于化学气相淀积车间内的供操作者手持的吸尘口(1)，该吸尘口(1)能够经由管道阀门的接口连接于吸尘主管(6)，该吸尘主管(6)连接于吸尘室(7)，该吸尘室(7)内设置有配置为成不同方位的至少两个挡尘板(3)以及滤网(2)，所述吸尘室(7)经由进风管(9)连接于高压鼓风机(10)的吸气口，该高压鼓风机(10)的出风口通过出风管(4)连接于容纳有粉尘沉淀液的粉尘沉淀池(11)，该粉尘沉淀池(11)位于所述化学气相淀积车间的外部。

2.根据权利要求1所述的真空除尘系统，其特征是，所述粉尘沉淀液为水，所述粉尘沉淀池(11)内还安装有水喷淋系统。

3.根据权利要求1所述的真空除尘系统，其特征是，所述管道阀门为闸阀(5)。

4.根据权利要求1所述的真空除尘系统，其特征是，所述吸尘主管(6)可以为直径100mm的PVC管。

5.根据权利要求1所述的真空除尘系统，其特征是，所述滤网(2)为304号不锈钢滤网。

6.根据上述权利要求中任一项所述的真空除尘系统，其特征是，所述真空除尘系统的各个管道接口均经过密封处理。