[实用新型]多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅定向凝固炉生产技术领域，尤其是多晶硅定向凝固炉真空系统进出气阀门。

背景技术

现有的多晶硅锭定向凝固炉，涉及真空系统及进出气阀门，真空泵系统包括一个罗茨泵和机械前级泵。能使腔室压力迅速下降到 0.05mbar 以下。大部分情况下，打开机械泵使腔室保持部分真空状态（400-600mbar）。在某个阶段需要氩气，用一个质量流量控制器控制氩气进气量，用一个与真空系统相连的比例控制阀调节氩气排气量。所以对阀门的控制是一个很重要的环节，一旦损坏不能及时更换带来的损失就会很大。现有技术中炉子是自动运行的，采用气动自动阀，炉子进气是由气体流量控制器来控制进多少量，进气阀只是这个时候打开；出气也是一样的，排气阀常开通过比例阀来控制量。炉子在停止工作的时候气动阀是关闭的（此时比例阀、气体流量控制器也关闭了）。自动阀的优点是方便控制，不需要操作人员去调整。但是，如果阀门内部出现故障的话会打不开阀门，这存在着生产隐患。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种多晶硅锭定向凝固炉气动连手动阀，它可克服现有技术的缺陷，确保生产安全。

本实用新型的目的是通过以下方案实现的：多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀，其特征在于：气动阀门设置在进气管道或出气管道上，在气动阀门上连接有手动阀门。

本实用新型还可通过以下方案进一步实现：

所述的气动阀门通过螺丝与手动阀门固接。

所述的手动阀门管道内径与所在管道内径相同。

所述的手动阀门为柱塞阀、旋塞阀、球阀之一种。

本实用新型的有益效果是：在原有的气动进出气阀门连接出加上一个手动的阀门，正常情况下常开不会影响炉子正常运行。排气阀加装一个手动阀，如果排气阀出现问题，可以将连接在下端的手动阀关闭，更换一个新的排气阀上去，这样炉子能继续正常运行下去。进气阀加装一个手动阀，氩气通过质量流量控制器后接一个手动阀在进气阀坏了后便于更换。最终炉子可以安全运行完，从而降低了事故发生率和生产成本。

附图说明

图1为本实用新型排气阀管道线路示意图，

图2为本实用新型进气阀管道线路示意图。

图中：1为机械泵和罗茨泵，2为V1阀大排气阀，3为比例阀，4为V3阀小排气阀，5为手动阀，6为炉腔，7为气体流量控制器，8为手动阀，9为大进气阀，10为进炉腔接口。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

实施例：

如图1所示，机械泵和罗茨泵1通过管道连接炉腔6（里面压力为600mbar），在管道上设有V1阀大排气阀（铸锭炉运行时关闭）2，V1阀大排气阀并联的旁路管道上，串联有比例阀（用来调节出气量）3， V3阀小排气阀4（铸锭炉正常运行打开）和手动阀5（也就是需要加装的）。

如图2所示，与大进气阀9（正常时不开）并联的旁路管道上，串联有气体流量控制器7、进气处手动阀8（也就是需要加装的），两管道连接进炉腔接口10。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。