[实用新型]一种分区式真空镀膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜设备，具体涉及一种分区式真空镀膜机。

背景技术

大面积元件的镀膜中，所使用的镀膜机大都采用多个弧源或者溅射源。现有技术中，镀膜机的弧源或者溅射源被安置在真空室的室壁上，以等距均匀分布。这种设备的缺点在于：1. 工件装卸不方便；2. 操作点多、任何一个源发生故障都会导致镀膜不均匀；3. 工作效率低，不能满足大批量的镀膜。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种分区式真空镀膜机，以实现大面积镀膜时，工件装卸方便，提高工作效率、保证镀膜均匀。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种分区式真空镀膜机，其依次包括了待镀工件区、真空镀膜区和成品区，以及连接待镀工件区、真空镀膜区和成品区的工件传动装置；其中真空镀膜区包括真空室、加热器和蒸发源。

本实用新型所述的传动装置包括传动带和传动齿轮。镀件时，工件放置在传动带上，传动带在待镀工件区、真空镀膜区和成品区中传动，完成工件的镀膜。

本实用新型的传动带做匀速运动。

优选方案中，传送带可以设置两条以上，保持工件进入真空镀膜区时，工件位于蒸发源的两侧。

本实用新型所述的加热器和蒸发源设置在真空室中。

本实用新型所述的蒸发源为磁控电弧蒸发源或者磁控溅射蒸发源。

本实用新型的优选方案中，为了保证镀膜均匀，磁控电弧源或者磁控溅射源设置为长柱状。

本实用新型的磁控电弧源或者磁控溅射源可以根据镀件需要设置为一个或者两个以上。

本实用新型的待镀工件区和成品区分别设有门，方便取放工件。

本实用新型的成品区内还设有冷凝装置。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型一方面采用分区式结构，并通过传动装置使工件在各个区之间传动来完成镀膜，整个过程操作方便、生产效率高；另一方面本实用新型保证工件在进入镀膜室中时位于蒸发源的两侧，保证镀膜均匀。

附图说明

图1为本实用新型分区式真空镀膜机结构示意图。

图2为本实用新型分区式真空镀膜机俯视图。

具体实施方式

如图1、图2所示，本实用新型的分区式真空镀膜机，其依次包括了待镀工件区1、真空镀膜区和成品区3，以及连接待镀工件区1、真空镀膜区2和成品区3的工件传动装置4；其中真空镀膜区包括真空室2、加热器5和蒸发源6。

本实用新型的传动装置包括传动带和传动齿轮，工作时，将待镀工件7放入到待镀工件区，待镀工件7经过传动带传送至真空室2中，并在真空室2中做匀速运动，实现均匀镀膜；镀膜完成后，镀好的工件在传动带的传送下进入到成品区3，通过冷凝装置将工件冷却后，即可以取出成品8。

本实用新型的优选方案中，可以设置多个加热器5和蒸发源6，其目的在于可以是多个工件同时进行镀膜，提高工作效率，节约成本。这个过程中保持工件位于蒸发器6的两侧，实现大批量工件的均匀镀膜。