[实用新型]一种单晶炉热场

权利要求书

1.一种单晶炉热场，它包括：炉腔（1），所述炉腔（1）内设有保温大盖（2）、导流筒（4）、加热器（5）、上保温筒（6），中保温筒（7）和炉底压片层（8）；导流筒（4）位于加热器（5）的上方；上保温筒（6）围在导流筒（4）的外周；中保温筒（7）位于加热器（5）的外周；炉底压片层（8）位于加热器（5）的下方；其特征在于：所述炉底压片层（8）由硬毡层（81）和软毡层（82）混合叠加而成。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述保温大盖（2）包括：上保温大盖（21）和下保温大盖（22）；上保温大盖（21）位于上保温筒（6）的上方，下保温大盖（22）连接上保温筒（6）和导流筒（4）。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述下保温大盖（22）的外径为550mm-600mm，上保温大盖（21）的内径为505mm-520mm、外径为680mm-790mm。

4.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述单晶炉热场内还设有封气环（3），所述封气环（3）位于上保温大盖上面。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述封气环（3）的内径为650-700mm，外径为785-790mm，厚度为10mm-12mm。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述导流筒（4）高度为315mm-330mm，导流筒（4）口径为205mm-235mm。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述上保温筒（6）的内径为510mm-560mm，高度为160-170mm，厚度为50-80mm。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述炉腔（1）内中保温筒（7）的高度为545mm-565mm，厚度为60-80mm。

9.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述炉底压片层（8）的高度为150mm-220mm。