[实用新型]磷化锗锌多晶体的合成装置无效
| 申请号： | 201020631952.0 | 申请日： | 2010-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN201864565U | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 吴东;王彪;申亮;徐洪远;王云华 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C01B25/08 | 分类号： | C01B25/08 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 张玲春 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磷化 多晶体 合成 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种磷化锗锌多晶体的合成装置，其特征在于其包括：炉腔；设置在炉腔内的氩气保护室；设置在氩气保护室内的多晶料密闭内反应室；设置在内反应室内的合成坩埚；所述内反应室的一侧底部通过连接管道与冷凝器相连通；所述合成坩埚通过连接管道依次穿过内反应室，氩气保护室及炉腔与蒸发器相连通。
2.根据权利要求1所述的磷化锗锌多晶体的合成装置，其特征在于：所述蒸发器通过一三通管道与装有二硫化碳的废气处理瓶相连通，该三通管道的纵向管道和横向管道上分别设置有气流控制阀，纵向管道上的气流控制阀的一端设计为氩气入口。
3.根据权利要求1所述的磷化锗锌多晶体的合成装置，其特征在于：所述冷凝器通过一三通管道与装有二硫化碳的废气处理瓶相连通，该三通管道的纵向管道和横向管道上分别设置有气流控制阀，纵向管道上的气流控制阀的一端设计为氩气入口。
4.根据权利要求1所述的磷化锗锌多晶体的合成装置，其特征在于：所述炉腔的两端分别设置有保温隔热层，保温隔热层的内部设置有高温密封塞。
5.根据权利要求4所述的磷化锗锌多晶体的合成装置，其特征在于：所述炉腔的材料可选择Al2O3陶瓷、石墨、石英中的任意一种。
6.根据权利要求4所述的磷化锗锌多晶体的合成装置，其特征在于：所述合成坩埚的材料可选择使用石墨、石英或PBN坩埚；所述保温隔热层的材质为氧化锆或多孔石墨耐火砖。
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