[实用新型]一种直拉式硅单晶生长炉用气冷套

权利要求书

1.一种直拉式硅单晶生长炉用气冷套，其特征在于，包括同轴设置的法兰一（1）、内套筒（4）和外套筒（9），所述法兰一（1）的盘体上开有一径向方向的充气孔（2），所述内套筒（4）固定在所述法兰一（1）盘体的内部侧壁上，在所述法兰一（1）的盘体内侧开有环形凹槽一，所述环形凹槽一与内套筒（4）形成环形且密闭的缓冲腔（3），所述充气孔（2）与所述缓冲腔（3）相通；所述外套筒（9）固定在法兰一（1）的盘体下端面上且位于内套筒（4）的外侧，所述外套筒（9）和内套筒（4）之间形成环形的充气缝隙（10），所述充气缝隙（10）与所述缓冲腔（3）相通。

2.按照权利要求1所述直拉式硅单晶生长炉用气冷套，其特征在于，所述外套筒（9）的上端固定有法兰二（7），所述法兰二（7）与所述法兰一（1）通过螺栓固定连接，在所述法兰二（7）上且位于所述外套筒（9）的内侧呈环形分布均匀开有多个初次分流孔（6），在法兰一（1）的盘体上且位于缓冲腔（3）和法兰二（7）之间开有环形槽，并通过所述环形槽和初次分流孔（6）使缓冲腔（3）和充气缝隙（10）相通。

3.按照权利要求2所述直拉式硅单晶生长炉用气冷套，其特征在于，所述充气缝隙（10）内，在外套筒（9）和内套筒（4）之间焊接有环形的隔板（8），所述隔板（8）上均匀开通有多个二次分流孔（5）。

4.按照权利要求3所述直拉式硅单晶生长炉用气冷套，其特征在于，所述内套筒（4）下端伸出在所述外套筒（9）的下方，并在所述内套筒（4）的下端部固定有导流罩（11），所述导流罩（11）为上小下大的锥形形状。

5.按照权利要求1、2、3或4所述直拉式硅单晶生长炉用气冷套，其特征在于，所述缓冲腔（3）的高度大于所述充气孔（2）的高度。

6.按照权利要求1、2、3或4所述直拉式硅单晶生长炉用气冷套，其特征在于，所述内套筒（4）与所述法兰一（1）焊接连接。

7.按照权利要求2、3或4所述直拉式硅单晶生长炉用气冷套，其特征在于，所述法兰一（1）的下端面上开有用于安装法兰二（7）的环形凹槽二，所述法兰二（7）设置在所述环形凹槽二内。

8.按照权利要求2、3或4所述直拉式硅单晶生长炉用气冷套，其特征在于，所述外套筒（9）与所述法兰二（7）焊接连接。