[实用新型]一种应用在单晶炉中的热屏装置有效
申请号: | 201020632882.0 | 申请日: | 2010-11-30 |
公开(公告)号: | CN201942779U | 公开(公告)日: | 2011-08-24 |
发明(设计)人: | 韩焕鹏;刘锋;吴磊;周传月;王世援 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 梁军 |
地址: | 300220*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用 单晶炉 中的 装置 | ||
1.一种应用在单晶炉中的热屏装置,其特征在于,所述热屏装置包括:
支架,设置在单晶炉的保温罩上方;
第一导流筒,形状为圆台的中空结构,所述第一导流筒的下底面向外延伸有第一安装边,上底面向内延伸有第一卡滞沿;所述第一安装边与所述支架配合;
第二导流筒,形状为圆台的中空结构,所述第二导流筒的下底面向外延伸有第二安装边,上底面向内延伸有第二卡滞沿;所述第二安装边与所述第一卡滞沿配合;
第三导流筒,形状为圆台的中空结构,所述第三导流筒的下底面向外延伸有第三安装边;所述第三安装边与所述第二卡滞沿配合。
2.如权利要求1所述的应用在单晶炉中的热屏装置,其特征在于,所述支架包括支撑筒和上盖板,所述支撑筒设置在单晶炉的保温罩上方,所述上盖板设置在支撑筒上方。
3.如权利要求2所述的应用在单晶炉中的热屏装置,其特征在于,所述上盖板上设置有凹槽,所述第一导流筒的第一卡滞沿安装在所述凹槽内。
4.如权利要求2所述的应用在单晶炉中的热屏装置,其特征在于,所述支架、第一导流筒、第二导流筒、第三导流筒均由石墨制成。
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