[实用新型]红外探测器及多波段非制冷红外焦平面

权利要求书

1.一种红外探测器，包括基底结构、微桥结构，所述基底结构包括含有读出电路的硅衬底基底、两个读出电路电极、反射层，所述微桥结构包括微桥桥面、两个支撑柱、两个支撑桥腿，其中，

所述反射层位于所述硅衬底基底的一端面上；所述两个读出电路电极呈对角线分布，与所述反射层位于所述硅衬底基底的同一端面上，且与所述反射层互不接触；

所述两个支撑桥腿各有一端与所述微桥桥面相连，另一端经由所述两个支撑柱和两个读出电路电极分别与所述硅衬底基底上的读出电路相连；使得所述微桥桥面悬空于所述反射层之上，在所述微桥桥面与所述反射层之间形成一光学谐振腔；

所述微桥桥面自所述光学谐振腔向上依次分布有支撑层、热敏层、钝化层，其特征在于，所述微桥桥面还包括一电磁波激发层，所述电磁波激发层位于所述钝化层之上，与所述钝化层紧密接触。

2.按照权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述电磁波激发层通过在极化材料上制作阵列型亚波长微结构实现。

3.按照权利要求2所述的红外探测器，其特征在于，所述极化材料为能与外部输入的红外辐射信号发生耦合作用的金属材料或者电介质材料中的一种。

4.按照权利要求3所述的红外探测器，其特征在于，

所述金属材料为金、银、铂、镍、钛、钨中的一种；

所述电介质材料为碳化硅、氧化锌、砷化镓中的一种。

5.按照权利要求2所述的红外探测器，其特征在于，所述阵列型亚波长微结构由多个微结构单元规则排列形成。

6.按照权利要求5所述的红外探测器，其特征在于，所述微结构单元的形状为矩形、圆形、多边形中的一种或多种。

7.按照权利要求5或6所述的红外探测器，其特征在于，

所述微结构单元的周期基本与欲选波段的中心波长相同，所述微结构单元的尺寸约为周期的一半。

8.一种多波段非制冷红外焦平面，其特征在于，所述焦平面上规则排布或者不规则排布有多个如权利要求1至7任一项所述的能吸收不同波段红外辐射信号的红外探测器。