[实用新型]一种等离子处理设备有效
| 申请号： | 201020638640.2 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN201887013U | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 丁雪苗 | 申请（专利权）人： | 珠海宝丰堂电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/04;H01J37/02 |
| 代理公司： | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人： | 刘曾剑 |
| 地址： | 519060 广东省珠海市香洲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 处理 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子处理设备,包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极板，其特征在于: 所述电极板的内部开有可供冷却流体介质流经的流道。
2.根据权利要求1所述的等离子处理设备,其特征在于:所述电极板上设有间隔分布的冷却流体介质流入管和冷却流体介质流出管，所述冷却流体介质流入管与所述流道的入口对接，所述冷却流体介质流出管与所述流道的出口对接。
3.根据权利要求2所述的等离子处理设备,其特征在于:所述冷却流体介质流入管和冷却流体介质流出管固定连接在所述电极板的顶部。
4.根据权利要求3所述的等离子处理设备,其特征在于:所述冷却流体介质为冷却液或冷却气体。
5.根据权利要求1所述的等离子处理设备,其特征在于:所述电极板垂直且相互平行地设置在所述腔体内。
6.根据权利要求1所述的等离子处理设备,其特征在于:所述电极板为铝合金板。
7.根据权利要求1所述的等离子处理设备,其特征在于:所述流道的横截面为圆形。
8.根据权利要求1所述的等离子处理设备,其特征在于:所述流道与所述电极板的边平行或垂直。
9.根据权利要求1所述的等离子处理设备,其特征在于:所述壳体上还设有测温探头，该测温探头通过测温线连接于所述电极板的表面。
10.根据权利要求9所述的等离子处理设备,其特征在于: 所述测温探头位于所述壳体的顶部。
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